[发明专利]一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置

权利要求书

1.一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，包括箱体(6)，其特征在于，所述箱体(6)的一侧内壁活动连接有第一螺纹杆(15)，第一螺纹杆(15)的一侧活动连接有散热箱(13)，所述散热箱(13)的两侧分别固定连接有第一挡板(131)和第二挡板(132)，所述箱体(6)的顶部内壁固定连接有隔板(601)，隔板(601)的一侧开设有取物口，且第一挡板(131)位于取物口内，所述第一挡板(131)的一侧设有防偏机构(7)，所述防偏机构(7)包括第二螺纹杆(34)，第二螺纹杆(34)螺纹连接在第一挡板(131)的一侧，所述第二螺纹杆(34)的一端活动连接有推板(32)，所述第一挡板(131)的一侧活动连接有两个第二导向杆(33)，第二导向杆(33)穿过推板(32)且固定连接有夹片(30)，夹片(30)的一侧固定连接有第二弹簧(31)，第二弹簧(31)的另一端与推板(32)相固定，所述箱体(6)的底部开设有安装孔，安装孔内固定连接有坩埚(11)，坩埚(11)内设有镀材(9)，所述坩埚(11)底部设有加热座(10)，所述箱体(6)的一侧活动连接有两个门体(2)，所述箱体(6)的一侧外壁固定连接有电机(5)，电机(5)输出轴的一端穿过箱体(6)并与第一螺纹杆(15)相固定，所述箱体(6)的一侧内壁固定连接有第一导向杆(14)，且第一导向杆(14)穿过第一挡板(131)、第二挡板(132)和散热箱(13)并与第一挡板(131)、第二挡板(132)和散热箱(13)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，其特征在于：所述箱体(6)的一侧内壁固定连接有齿条(12)，且齿条(12)穿过第一挡板(131)、第二挡板(132)和散热箱(13)并与第一挡板(131)、第二挡板(132)和散热箱(13)间隙连接，所述散热箱(13)的顶部固定连接有两个固定架(36)，固定架(36)的一侧均活动连接有转轴(37)，转轴(37)的一端固定连接有多个扇叶(38)，转轴(37)的另一端固定连接有齿轮(35)，且齿轮(35)与齿条(12)相啮合，所述散热箱(13)的底部开设有多个风孔(39)。

3.根据权利要求1所述的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，其特征在于：所述隔板(601)的一侧设有清扫机构(8)，所述清扫机构(8)包括两个第二导轨(28)，第二导轨(28)内活动连接有滑块(29)，滑块(29)之间活动连接有清扫辊(26)，所述滑块(29)的底部固定连接有第一弹簧(27)，第一弹簧(27)的另一端与第二导轨(28)相固定，所述散热箱(13)的一侧固定连接有两个安装架(22)，安装架(22)的底部固定连接有第一导轨(21)，第一导轨(21)的一侧固定连接有导向块(25)，导向块(25)的一侧固定连接有安装轴，安装轴的一侧活动连接有导向片(23)，导向片(23)的一侧固定连接有扭簧(24)，且扭簧(24)的另一端与安装轴相固定，所述清扫辊(26)固定轴的一端穿过滑块(29)并与第一导轨(21)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，其特征在于：所述第一挡板(131)的一侧固定连接有第二固定块(20)，第二固定块(20)的顶部活动连接有推杆(19)，所述门体(2)其中一个的一侧固定连接有第一固定块(18)，且推杆(19)的另一端与第一固定块(18)转动连接，所述第一固定块(18)的一侧固定连接有拉簧(17)，拉簧(17)的另一端与箱体(6)的一侧内壁相固定。

5.根据权利要求4所述的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，其特征在于：所述门体(2)的一侧开设有安装口，安装口内设有视窗(3)。

6.根据权利要求1所述的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，其特征在于：所述箱体(6)顶部开设有散热孔，散热孔的一侧固定连接有防护架(4)。

7.根据权利要求1所述的一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，其特征在于：所述箱体(6)的顶部内壁固定连接有两个灯架，灯架的一侧设有照明灯(16)。