[发明专利]一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置

说明书

本发明涉及镀膜技术领域，且公开了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，包括箱体，所述箱体的一侧内壁活动连接有第一螺纹杆，第一螺纹杆的一侧活动连接有散热箱，所述散热箱的两侧分别固定连接有第一挡板和第二挡板，所述箱体的顶部内壁固定连接有隔板，隔板的一侧开设有取物口，且第一挡板位于取物口内，所述第一挡板的一侧设有防偏机构，所述防偏机构包括第二螺纹杆，第二螺纹杆螺纹连接在第一挡板的一侧。本发明不仅能够对外界进行隔断，防止灰尘进入，提高装置的镀膜质量，同时能够防止产品在镀膜时发生偏移，提高装置的镀膜效果，还能够对产品在进行镀膜前进行清理，提高了产品的洁净度。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，具体为一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置。

背景技术

众所周知，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，而半导体在加工时常常需要对其进行镀膜。

经检索，授权公开号为CN110773381B的专利，公开了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，包括设备主体、竖向螺旋杆、连接套、第一转轴、卡槽、第二镀膜装置、第二转轴、第二齿轮。上述专利存在以下不足：对产品进行镀膜后，不方便对产品进行拿取，容易造成镀膜室内被污染，影响后续产品的镀膜效果，不能满足人们的要求。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，主要为解决产品进行镀膜后，不方便对产品进行拿取，容易造成镀膜室内被污染的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，包括箱体，所述箱体的一侧内壁活动连接有第一螺纹杆，第一螺纹杆的一侧活动连接有散热箱，所述散热箱的两侧分别固定连接有第一挡板和第二挡板，所述箱体的顶部内壁固定连接有隔板，隔板的一侧开设有取物口，且第一挡板位于取物口内，所述第一挡板的一侧设有防偏机构，所述防偏机构包括第二螺纹杆，第二螺纹杆螺纹连接在第一挡板的一侧，所述第二螺纹杆的一端活动连接有推板，所述第一挡板的一侧活动连接有两个第二导向杆，第二导向杆穿过推板且固定连接有夹片，夹片的一侧固定连接有第二弹簧，第二弹簧的另一端与推板相固定，所述箱体的底部开设有安装孔，安装孔内固定连接有坩埚，坩埚内设有镀材，所述坩埚底部设有加热座，所述箱体的一侧活动连接有两个门体，所述箱体的一侧外壁固定连接有电机，电机输出轴的一端穿过箱体并与第一螺纹杆相固定，所述箱体的一侧内壁固定连接有第一导向杆，且第一导向杆穿过第一挡板、第二挡板和散热箱并与第一挡板、第二挡板和散热箱滑动连接。

进一步的，所述箱体的一侧内壁固定连接有齿条，且齿条穿过第一挡板、第二挡板和散热箱并与第一挡板、第二挡板和散热箱间隙连接，所述散热箱的顶部固定连接有两个固定架，固定架的一侧均活动连接有转轴，转轴的一端固定连接有多个扇叶，转轴的另一端固定连接有齿轮，且齿轮与齿条相啮合，所述散热箱的底部开设有多个风孔。

在前述方案的基础上，所述隔板的一侧设有清扫机构，所述清扫机构包括两个第二导轨，第二导轨内活动连接有滑块，滑块之间活动连接有清扫辊，所述滑块的底部固定连接有第一弹簧，第一弹簧的另一端与第二导轨相固定，所述散热箱的一侧固定连接有两个安装架，安装架的底部固定连接有第一导轨，第一导轨的一侧固定连接有导向块，导向块的一侧固定连接有安装轴，安装轴的一侧活动连接有导向片，导向片的一侧固定连接有扭簧，且扭簧的另一端与安装轴相固定，所述清扫辊固定轴的一端穿过滑块并与第一导轨滑动连接。

作为本发明再进一步的方案，所述第一挡板的一侧固定连接有第二固定块，第二固定块的顶部活动连接有推杆，所述门体其中一个的一侧固定连接有第一固定块，且推杆的另一端与第一固定块转动连接，所述第一固定块的一侧固定连接有拉簧，拉簧的另一端与箱体的一侧内壁相固定。