[发明专利]基板及显示面板有效

专利信息
申请号: 202110936401.8 申请日: 2021-08-16
公开(公告)号: CN113745246B 公开(公告)日: 2023-10-03
发明(设计)人: 檀小芳;宋志伟 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L29/786
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨艇要
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 显示 面板
【说明书】:

本申请实施例公开了一种基板及显示面板,其中薄膜晶体管包括栅极、有源层和源漏金属层。有源层与栅极异层设置,有源层与栅极重叠设置;阻隔层至少覆盖有源层和栅极,阻隔层用于阻隔水氧。平坦层覆盖在阻隔层;源漏金属层设置在平坦层上。源漏金属层包括源极和漏极,源极和漏极分别连接于有源层。本申请采用阻隔层至少覆盖薄膜晶体管的栅极和有源层,以阻隔外界的氢、氧和水汽等侵入栅极和有源层,且采用平坦层平坦有源层和栅极的堆叠结构,从而降低源漏金属层及以上的膜层受复杂地形影响的风险。

技术领域

本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种基板及显示面板。

背景技术

相比传统的液晶面板,有源矩阵有机发光二极管面板具有响应速度快、对比度高、视角较广、能耗低等特点,因而广受欢迎,正在逐步取代液晶显示面板成为下一代主流显示面板。

在对现有技术的研究和实践过程中,本申请的发明人发现,无论是液晶面板还是有机发光二极管面板都面临一个难题,就是有源层容易受外界侵入的氢、水和氧等因素的影响,从而引起薄膜晶体管的电性偏移,最终降低面板可靠性的表现。

发明内容

本申请实施例提供一种基板及显示面板,可以降低氢、水和氧侵入有源层的风险。

本申请实施例提供一种基板,其包括:

衬底;以及

多个薄膜晶体管,所述薄膜晶体管设置在所述衬底上;

所述薄膜晶体管包括:

栅极,所述栅极设置在所述衬底上;

有源层,所述有源层设置在所述衬底上且与所述栅极异层设置,所述有源层与所述栅极重叠设置;

阻隔层,所述阻隔层至少覆盖所述有源层和所述栅极,所述阻隔层用于阻隔水氧;

平坦层,所述平坦层覆盖在所述阻隔层上;以及

源漏金属层,所述源漏金属层设置在所述平坦层上,所述源漏金属层包括源极和漏极,所述源极和所述漏极分别连接于所述有源层。

可选的,在本申请的一些实施例中,所述基板还包括第一绝缘层,所述第一绝缘层设置在所述有源层上,所述栅极设置在所述第一绝缘层上;

所述有源层、所述第一绝缘层和所述栅极堆叠形成凸出结构,所述阻隔层覆盖所述凸出结构的外表面。

可选的,在本申请的一些实施例中,所述有源层包括第一顶面和连接于所述第一顶面周沿的第一侧面;

所述第一绝缘层设置在所述第一顶面的中间区域,所述第一绝缘层包括第二顶面和连接于所述第二顶面周沿的第二侧面;

所述栅极设置在所述第二顶面上,所述栅极包括第三顶面和连接于所述第三顶面周沿的第三侧面;

所述阻隔层覆盖所述第一顶面的侧边区域、所述第一侧面、所述第二侧面、所述第三顶面和所述第三侧面。

可选的,在本申请的一些实施例中,所述基板还包括遮光层、缓冲层和第二绝缘层,所述遮光层设置在所述衬底上,所述遮光层与所述有源层重叠设置,所述缓冲层设置在所述遮光层和所述有源层之间,所述第二绝缘层设置在所述源漏金属层上;

所述源漏金属层还包括源极延长线,所述源极延长线分别连接于所述源极和所述遮光层。

可选的,在本申请的一些实施例中,所述基板还包括第一绝缘层,所述第一绝缘层设置所述栅极上,所述有源层设置在所述第一绝缘层上;

所述阻隔层覆盖在所述有源层的外表面。

可选的,在本申请的一些实施例中,所述第一绝缘层设置有沟槽,所述沟槽绕设在所述栅极的外周,所述阻隔层覆盖所述沟槽。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司,未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110936401.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top