[发明专利]基板及显示面板有效
申请号: | 202110936401.8 | 申请日: | 2021-08-16 |
公开(公告)号: | CN113745246B | 公开(公告)日: | 2023-10-03 |
发明(设计)人: | 檀小芳;宋志伟 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L29/786 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 | ||
本申请实施例公开了一种基板及显示面板,其中薄膜晶体管包括栅极、有源层和源漏金属层。有源层与栅极异层设置,有源层与栅极重叠设置;阻隔层至少覆盖有源层和栅极,阻隔层用于阻隔水氧。平坦层覆盖在阻隔层;源漏金属层设置在平坦层上。源漏金属层包括源极和漏极,源极和漏极分别连接于有源层。本申请采用阻隔层至少覆盖薄膜晶体管的栅极和有源层,以阻隔外界的氢、氧和水汽等侵入栅极和有源层,且采用平坦层平坦有源层和栅极的堆叠结构,从而降低源漏金属层及以上的膜层受复杂地形影响的风险。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种基板及显示面板。
背景技术
相比传统的液晶面板,有源矩阵有机发光二极管面板具有响应速度快、对比度高、视角较广、能耗低等特点,因而广受欢迎,正在逐步取代液晶显示面板成为下一代主流显示面板。
在对现有技术的研究和实践过程中,本申请的发明人发现,无论是液晶面板还是有机发光二极管面板都面临一个难题,就是有源层容易受外界侵入的氢、水和氧等因素的影响,从而引起薄膜晶体管的电性偏移,最终降低面板可靠性的表现。
发明内容
本申请实施例提供一种基板及显示面板,可以降低氢、水和氧侵入有源层的风险。
本申请实施例提供一种基板,其包括:
衬底;以及
多个薄膜晶体管,所述薄膜晶体管设置在所述衬底上;
所述薄膜晶体管包括:
栅极,所述栅极设置在所述衬底上;
有源层,所述有源层设置在所述衬底上且与所述栅极异层设置,所述有源层与所述栅极重叠设置;
阻隔层,所述阻隔层至少覆盖所述有源层和所述栅极,所述阻隔层用于阻隔水氧;
平坦层,所述平坦层覆盖在所述阻隔层上;以及
源漏金属层,所述源漏金属层设置在所述平坦层上,所述源漏金属层包括源极和漏极,所述源极和所述漏极分别连接于所述有源层。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述基板还包括第一绝缘层,所述第一绝缘层设置在所述有源层上,所述栅极设置在所述第一绝缘层上;
所述有源层、所述第一绝缘层和所述栅极堆叠形成凸出结构,所述阻隔层覆盖所述凸出结构的外表面。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述有源层包括第一顶面和连接于所述第一顶面周沿的第一侧面;
所述第一绝缘层设置在所述第一顶面的中间区域,所述第一绝缘层包括第二顶面和连接于所述第二顶面周沿的第二侧面;
所述栅极设置在所述第二顶面上,所述栅极包括第三顶面和连接于所述第三顶面周沿的第三侧面;
所述阻隔层覆盖所述第一顶面的侧边区域、所述第一侧面、所述第二侧面、所述第三顶面和所述第三侧面。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述基板还包括遮光层、缓冲层和第二绝缘层,所述遮光层设置在所述衬底上,所述遮光层与所述有源层重叠设置,所述缓冲层设置在所述遮光层和所述有源层之间,所述第二绝缘层设置在所述源漏金属层上;
所述源漏金属层还包括源极延长线,所述源极延长线分别连接于所述源极和所述遮光层。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述基板还包括第一绝缘层,所述第一绝缘层设置所述栅极上,所述有源层设置在所述第一绝缘层上;
所述阻隔层覆盖在所述有源层的外表面。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述第一绝缘层设置有沟槽,所述沟槽绕设在所述栅极的外周,所述阻隔层覆盖所述沟槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的