[发明专利]一种半导体圆晶烘干装置

说明书

本发明公开了一种半导体圆晶烘干装置，包括无尘烘干室，无尘烘干室内安装有轨道，轨道上安装有滑动小车，滑动小车上连接有竖向伸缩装置，竖向伸缩装置连接有横向伸缩装置，横向伸缩装置上安装有负压吸取装置；所述无尘烘干室中部安装有若干烘干架，无尘烘干室一端安装有进料盘，另一端安装有出料盘，进料盘和出料盘均连接有伸拉装置；所述烘干架均包括自上到下设置的料板，料板上成形有若干圆晶放置槽。圆晶放置槽底部成形有若干透气孔。本发明实现了圆晶的自动化取料和烘干操作，有效防止了圆晶转移过程中容易被划伤的风险，此外对圆晶的烘干充分，效率高有效防止了人进入车间影响其烘干且易代入灰尘污染圆晶的风险。

技术领域

本发明属于半导体领域，尤其涉及一种半导体圆晶烘干装置。

背景技术

圆晶(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。

晶圆表面附着一层大约2um的Al₂O₃和甘油混合液保护,在使用前必须进行化学刻蚀和表面清洗。但是现有的烘干装置均是人工将圆晶放入烘干箱内，然后人工取出，导致烘干效率较低，且人工放入和取出的过程中容易将圆晶表面划伤。

发明内容

为解决上述问题，本发明公开了一种半导体圆晶烘干装置。本发明实现了圆晶的自动化取料和烘干操作，有效防止了圆晶转移过程中容易被划伤的风险，此外对圆晶的烘干充分，效率高有效防止了人进入车间影响其烘干且易代入灰尘污染圆晶的风险。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：

一种半导体圆晶烘干装置，包括无尘烘干室，无尘烘干室内安装有轨道，轨道上安装有滑动小车，滑动小车上连接有竖向伸缩装置，竖向伸缩装置连接有横向伸缩装置，横向伸缩装置上安装有负压吸取装置；所述无尘烘干室中部安装有若干烘干架，无尘烘干室一端安装有进料盘，另一端安装有出料盘，进料盘和出料盘均连接有伸拉装置；所述烘干架均包括自上到下设置的料板，料板上成形有若干圆晶放置槽。圆晶放置槽底部成形有若干透气孔。

进一步的改进，所述圆晶放置槽底部提起成形有若干凸块。

进一步的改进，所述凸块至少为三个。

进一步的改进，所述竖向伸缩装置、横向伸缩装置和伸拉装置均为气缸或丝杆机构。

进一步的改进，所述负压吸取装置包括吸盘，吸盘连通有气管，气管连通有负压泵。

进一步的改进，所述吸盘的边缘固定有弹性环。

进一步的改进，所述进料盘和出料盘处安装有门。

本发明的优点：

本发明实现了圆晶的自动化取料和烘干操作，有效防止了圆晶转移过程中容易被划伤的风险，此外对圆晶的烘干充分，效率高有效防止了人进入车间影响其烘干且易代入灰尘污染圆晶的风险。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为无尘烘干室的俯视结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本发明做进一步说明。

实施例

如图1和图2所示的一种半导体圆晶烘干装置，包括无尘烘干室1、轨道2、滑动小车3、竖向伸缩装置4、横向伸缩装置5、负压吸取装置6、吸盘61、气管62、负压泵63、弹性环64、烘干架7、进料盘8、出料盘9、伸拉装置10、料板11、圆晶放置槽12、透气孔13、凸块14。