[发明专利]基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法

权利要求书

1.一种基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法，其特征在于：包括用于待测透明密闭容器气密性检测系统；其中，所述待测透明密闭容器气密性检测系统，包括

控制采集模块，用于分别向TEC控制器和电流控制器发出控制指令；

所述TEC控制器，用于接收所述控制采集模块发送的控制指令，控制激光器工作在设定温度；

所述电流控制器，用于接收控制采集模块发送的控制指令，产生设定波形的电流信号通入所述激光器；

激光器，用于通过所述设定温度和所述电流信号进行波长调节，并将调节后的光通过光纤传导到准直器；

所述准直器，用于将所述光纤传导的光转为平行光后发射到待测透明密闭容器；

光电探测器，用于接收穿过所述待测透明密闭容器的光信号，并将所述光信号转换为电信号传输到锁相放大器；

所述锁相放大器，用于接收控制采集模块发出的高频参考信号，并将接收的所述电信号进行一次谐波解调和二次谐波解调后发送给控制采集模块；

密闭箱体，用于放置待测透明密闭容器；

加热器，用于加热所述密闭箱体；

温度控制器，用于控制所述加热器温度；

待测透明密闭容器的气密性检测方法，包括下述步骤：

步骤1，将待测透明密闭容器放入密闭箱体中；

步骤2，打开密闭箱体的出气阀，将密闭箱体抽真空；

步骤3，关闭所述出气阀，打开密闭箱体的进气阀，向密闭箱体中充入设定压强的气体；

步骤4，控制所述温度控制器，使密闭箱体保持在设定温度；

步骤5，控制TEC控制器，使激光器工作在设定温度；

步骤6，控制电流控制器产生设定波形的电流信号，对激光器进行调谐，使激光器发出的激光波长在中心点附近波动，同时控制采集模块将所述高频参考信号发送给锁相放大器；

步骤7，控制采集模块采集锁相放大器输出的一次谐波、二次谐波解调信号，并记录为V1f和V2f；

步骤8，求出所述V2f信号峰值对应位置处的所述V1f信号值的比值H,即H=；

步骤9，按照设定时间间隔采集信号，并记录一组比值Hi；i为大于零的自然数；

步骤10，做出时间t与所述比值Hi的关系图，并依据设定的算法，评估待测透明密闭容器的气密性。

2.根据权利要求1所述基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法，其中，设定的所述算法为差值法，通过比较不同时刻所述比值Hi值的总变化量，当变化量超过设定阈值时，判定待测透明密闭容器的气密性较差。

3.根据权利要求1所述基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法，其中，设定的所述算法为趋势法或斜率法，通过不同时刻所述比值Hi的变化趋势，判断待测透明密闭容器的气密性。

4.根据权利要求1所述基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法，其中，所述锁相放大器由第一锁相放大器和第二锁相放大器组成；所述第一、第二锁相放大器同步接收所述电信号。

5.根据权利要求1所述基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法，其中，所述激光器为DFB激光器，所述DFB激光器的中心波长与所述待测透明密闭容器中的气体相关，即，依据待测透明密闭容器中气体的吸收光谱进行选择，选择原则为：从HITRAN分子吸收数据库中获取待测气体吸收谱线强度分布，从中选取吸收谱线强度较高的波长。

6.根据权利要求1所述基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法，其中，所述电流控制器产生设定波形的电流信号，是由数十Hz的线性扫描信号和数十kHz的正弦信号相叠加的电流信号。

7.一种权利要求1所述基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法，其中，所述密闭箱体中充入的气体与待测透明密闭容器中的气体，在吸收光谱中不重合，以避免密闭箱体中的气体吸收所述准直器发射的平行光。