[发明专利]基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法

说明书

本发明公开了一种待测透明密闭容器的气密性检测方法，1，将待测透明密闭容器放入密闭箱体中；2，打开密闭箱体的出气阀，将密闭箱体抽真空；3，关闭出气阀，打开密闭箱体的进气阀，向密闭箱体中充入设定压强的气体；4，控制温度控制器，使密闭箱体保持在设定温度；5，控制TEC控制器，使激光器工作在设定温度；6，控制电流控制器产生设定波形的电流信号，对激光器进行调谐；7，控制采集模块采集锁相放大器输出的一次谐波、二次谐波解调信号；8，求出V2f信号峰值对应位置处的V1f信号值的比值H,即H=；9，按照设定时间间隔采集信号，并记录一组比值Hi；10，做出时间t与所述比值Hi的关系图，并依据设定的算法，评估待测透明密闭容器的气密性。本发明对待测透明密闭容器气密性检测具有灵敏度、分辨率高以及稳定高的特点。

技术领域

本发明涉及待测透明密闭容器气密性检测领域，尤其是涉及一种基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法。

背景技术

目前，判断密闭容器的气密性，一般是将密闭容器通过充气或者抽气形成一定的正压或者负压，通过安装压力计，监测经一定时间后的压力是否有显著变化来判断密闭容器的气密性是否良好。

中国专利公开号CN 204964157 U，公开了一种瓶体密闭性质量检测装置。包括密闭箱体、充气嘴、压力检测装置、充气泵、控制器和报警单元。压力检测装置有两组，其中一组安装在充气嘴一侧，另一组安装在密闭箱体内部。实验时，通过充气嘴向瓶体内部充气，并保持一定的压强。通过监测压力检测装置的压力值变化，判断瓶体气密性是否良好。

中国专利公开号CN 112763163 A，公开了一种密闭容器的气密性检测方法、装置、设备及存储介质。该检测装置包含：数据采集模块，用于获取密闭容器的若干采集数据，包括压力及温度；数据修正模块，用于将各采集数据中的温度，与各采集数据中对应的压力组合，得到若干修正采集数据；气体常量获取模块用于获取各修正采集数据的气体常量；以及检测模块，用于根据基于时间序列的趋势判断方法，确定密闭容器的气密性。核心思想是通过温度对相应采集的压力值进行修正，提高检测可靠性。

上述两专利都是利用压力传感器进行压强的检测，从而进行气密性检测。存在的不足是：1、需要先将压力传感器放入封闭容器内部，再冲入气体改变压强，不适于那些不能打开瓶盖的密封容器；2、检测精度主要依赖于压力传感器，精度不高。3、只能用于较大物体的测量，对于较小的容器，不适用。

中国专利公开号CN 103743527 A，公开了一种利用红外光谱检测键合晶圆之间气密性的方法。通过与气体填充腔体连接的第一泵将气体填充腔体抽真空，从而在相互键合的第一晶圆和第二晶圆之间存在供空气流通的缝隙的情况下抽出空间中的气体，然后在相互键合的第一晶圆和第二晶圆之间存在供空气流通的缝隙的情况下注入预定气体。开启红外光发射器使之向相互键合的第一晶圆和第二晶圆发射红外光，并利用红外接收分析设备对经过相互键合的第一晶圆和第二晶圆、以及相互键合的第一晶圆和第二晶圆之间的空间的光线进行接收和频谱分析。利用频谱分析的结果判断相互键合的第一晶圆和第二晶圆之间的气密性。其存在的不足是：由于光源的稳定性，检测器以及电路的噪声等因素，导致其灵敏度、稳定性不足。

发明内容

本发明目的在于提供一种基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法。

为实现上述目的，本发明可采取下述技术方案：

本发明所述基于TDLAS的待测透明密闭容器气密性检测方法，包括用于待测透明密闭容器气密性检测系统；其中，所述待测透明密闭容器气密性检测系统，包括

控制采集模块，用于分别向TEC控制器和电流控制器发出控制指令；

所述TEC控制器，用于接收所述控制采集模块发送的控制指令，控制激光器工作在设定温度；

所述电流控制器，用于接收控制采集模块发送的控制指令，产生设定波形的电流信号通入所述激光器；

激光器，用于通过所述设定温度和所述电流信号进行波长调节，并将调节后的光通过光纤传导到准直器；