[发明专利]芯片吸取工具有效
申请号: | 202110945878.2 | 申请日: | 2021-08-18 |
公开(公告)号: | CN113394157B | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 朱魏;龙华 | 申请(专利权)人: | 深圳飞骧科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人: | 何春晖;张莎莎 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区南头街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 吸取 工具 | ||
1.一种芯片吸取工具,其特征在于,包括:
外壳,包括沿轴线贯通的台阶状内孔;
伸缩杆,穿过所述台阶状内孔,其第一端伸出所述台阶状内孔的大直径端外部,其第二端伸出所述台阶状内孔的小直径端外部,可沿所述外壳的轴线方向运动;
弹性吸盘,设置于所述台阶状内孔的小直径端外部,与所述伸缩杆的第二端相连,可随所述伸缩杆沿着所述外壳的轴线方向运动;
弹性限位装置,设置于所述台阶状内孔内部,环套于所述伸缩杆外部,第一次按压所述伸缩杆并撤销外力后,在所述伸缩杆的运动过程中将其锁紧固定;第二次按压所述伸缩杆并撤销外力后,在所述伸缩杆的运动过程中将其释放;
所述外壳在所述台阶状内孔的小直径端外部包括一凹槽,所述凹槽的宽度小于所述弹性吸盘的直径,所述凹槽在所述弹性吸盘运动时进行阻挡使所述弹性吸盘发生变形,从而导致所述芯片脱离所述弹性吸盘。
2.根据权利要求1所述的芯片吸取工具,其特征在于,所述弹性吸盘的直径大于所述台阶状内孔的小直径端的直径。
3.根据权利要求1所述的芯片吸取工具,其特征在于,所述伸缩杆包括:
第一杆部,与所述弹性吸盘相连;
第二杆部,与所述第一杆部相连,直径大于所述第一杆部的直径。
4.根据权利要求3所述的芯片吸取工具,其特征在于,所述弹性限位装置包括:
弹性部件,环套于所述第一杆部的外部,一端与所述第一杆部和所述第二杆部的连接处相连,另一端与所述台阶状内孔的台阶面相连;
旋转限位部件,与所述第二杆部相连。
5.根据权利要求4所述的芯片吸取工具,其特征在于,所述旋转限位部件包括:
导轨,设置于所述台阶状内孔的大直径端侧壁上;
推杆,设置于所述台阶状内孔的大直径内,一端伸出所述台阶状内孔,可沿所述导轨直线运动;
滑套,一端与所述第二杆部相连,另一端与所述推杆配合,在所述推杆和所述弹性部件的作用下可在所述台阶状内孔中旋转和直线运动。
6.根据权利要求4所述的芯片吸取工具,其特征在于,当所述旋转限位部件在外力作用下被按压使得所述伸缩杆沿着所述第一端向所述第二端方向运动时,所述弹性部件被压缩;
当外力撤销后,在所述弹性部件的回弹力作用下,所述旋转限位部件发生转动将所述伸缩杆锁定。
7.根据权利要求6所述的芯片吸取工具,其特征在于,当继续按压所述旋转限位部件时,所述旋转限位部件继续转动并解锁;
在所述弹性部件的回弹力作用下所述伸缩杆沿着所述第二端向所述第一端的方向运动。
8.根据权利要求3所述的芯片吸取工具,其特征在于,所述第一杆外部的所述外壳形状为圆锥形,所述第二杆外部的外壳形状为圆柱形。
9.根据权利要求1所述的芯片吸取工具,其特征在于,所述外壳或所述伸缩杆的材料包括:碳纤维。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳飞骧科技股份有限公司,未经深圳飞骧科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110945878.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:双封端聚砜制备方法
- 下一篇:机器人乐手的演奏结构、打鼓机器人及其控制方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造