[发明专利]一种环件凸台的检具及其检测方法与用途

说明书

本发明提供了一种环件凸台的检具及其检测方法与用途，所述的环件凸台的检具包括底座和模具、所述的模具包括上模组件和下模组件，所述的下模组件固定于底座表面，将环件凸台置于所述上模组件内，再将上模组件与下模组件扣合，当上模组件完全覆盖下模组件，表明环件凸台检测合格。本发明提供的一种环件凸台的检具结构简单，加工容易，能够同时检测多个环件凸台是否符合标准，检测效率高，并通过检具全检和卡尺抽检一枚的方式，可节约检测工时，节省了人力成本，同时能够保障准确度。

技术领域

本发明属于检测技术领域，涉及环件凸台的检具，尤其涉及一种环件凸台的检具及其检测方法与用途。

背景技术

在半导体物理气相沉积生产过程中采用的环件设置有7个或5个凸起，用于安装在溅射机台上，同时也起到通电作用。加工后需要对环件上凸起进行检测尺寸，批量产品对检测工序造成较大生产压力，造成了生产瓶颈。机械加工领域常采用三坐标测量机对零部件的尺寸进行检测，但采用三坐标测量机对零部件进行检测时必须保证部件本身的形状不变，且需对每一个凸起进行分别测量，再记录数据形成三坐标检测报告，延长了检测工时，增加了工作量。

CN212228005U公开了一种带有辅助定位装置的新型三坐标检测机，包括三坐标检测机，所述三坐标检测机的上表面后侧固接有挡块，所述三坐标检测机(1)的上表面前侧开有滑槽，所述滑槽的下方开有滑腔，所述滑腔的内壁两端均开有滑道，所述滑道内部前后两侧分别滑动连接有滑杆和滑板，所述滑板的一侧固接有压缩弹簧；所述滑杆的外壁套接有顶块，所述顶与滑槽滑动相连，所述顶块的外壁螺纹连接有卡杆，所述卡杆贯穿顶与滑腔的内壁紧密贴合。

CN206855298U公开了三坐标测量夹具，包括夹具底座，所述夹具底座上设置磁性座，所述磁性座由磁性开关控制启闭磁性；沿所述夹具底座的外周开设内凹槽，安装座的一端嵌入所述内凹槽并通过紧固件固接，所述安装座的另一端套接弹性座套，所述弹性座套的一端套接弹性定位头，所述弹性座套的另一端套接弹性底座，于所述弹性座套内、在所述弹性定位头及弹性底座之间还设置弹簧，所述弹性定位头、弹性座套、弹簧及弹性底座构成弹性座。

CN110906893A公开了一种环件三坐标检具，所述检具包括底座，所述底座上设置有与待测环件相匹配的圆形凹腔，在所述底座上，沿圆形凹腔的外周设置有供三坐标测量机测针伸入的凹槽。其测量方法为将待测环件置于检具的圆形凹腔中，使待测环件的凸块置于圆形凹腔外周的底座上，再利用三坐标测量机测量待测环件的尺寸。即将三坐标测量机的测针伸入凹槽，检测待测环件的侧壁和/或底部。

现有采用三坐标测量方法对批量部件进行测量，需分别测量每一个环件凸台的尺寸，记录数据形成三坐标检测报告，延长了检测工时，增加了工作量，降低了工作效率，因此，需要开发一种环件凸台进行测量的检具及方法，提高环件的检测效率。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于一种环件凸台的检具及其检测方法与用途，能够减少环件凸台的检测时间，每组环件凸台可节约检测工时50％，从而提高生产效率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种环件凸台的检具，所述环件凸台的检具包括底座和模具、所述的模具包括上模组件和下模组件，所述的下模组件固定于底座表面，将环件凸台置于所述上模组件内，再将上模组件与下模组件扣合，当上模组件完全覆下模组件，表明环件凸台检测合格。

作为本发明一个优选技术方案，所述的下模组件为环形凸台结构，所述的下模组件设置对称的两个开口。

优选地，所述开口的宽度小于下模组件的内径。

优选地，所述下模组件与底座的连接处设置垫层，所述垫层的直径大于下模组件的外径。

作为本发明一个优选技术方案，所述上模组件的中心设置贯通的容纳腔室，所述上模组件的一侧表面开设相互垂直的两个限位槽。