[发明专利]剥离设备及显示面板的制备方法在审

专利信息
申请号: 202110954371.3 申请日: 2021-08-19
公开(公告)号: CN115377335A 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 苑立阁 申请(专利权)人: 广东聚华印刷显示技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/00;H01L21/67;H01L21/78
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 刘阳
地址: 510700 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 剥离 设备 显示 面板 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供待处理面板,所述待处理面板包括承载基板和设于所述承载基板上的柔性显示面板;

将所述待处理面板进行激光扫描处理;

将经激光扫描处理的所述待处理面板进行振荡处理;

将经振荡处理的所述待处理面板的所述承载基板和所述柔性显示面板进行分离。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述振荡处理的步骤中,采用超声波发生器进行所述振荡处理,所述超声波发生器的频率为28~40KHz。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述振荡处理的步骤中,将所述待处理面板通过真空吸附固定于剥离平台上,并使所述剥离平台以30~100mm/s的速度沿第一方向通过所述超声波发生器,且当所述剥离平台通过所述超声波发生器时,所述超声波发生器和所述待处理面板在第二方向上的距离为3mm~5mm;其中,所述第二方向与所述第一方向垂直;

所述待处理面板与所述剥离平台之间真空吸附的真空度为-80KPa~-50KPa。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述激光扫描处理的步骤中,利用激光对所述待处理面板的所述承载基板和所述柔性显示面板之间的界面进行所述激光扫描处理;

其中,所述激光的频率为300~600Hz,所述激光的能量密度为180~240mj/cm2

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述柔性显示面板包括依次层叠设置在所述承载基板上的连接层和柔性显示功能层;

其中,所述连接层为牺牲层,所述激光辐射的能量密度为220~240mj/cm2;或

所述连接层为聚酰亚胺薄膜,所述激光辐射的能量密度为180~220mj/cm2

6.一种剥离设备,其特征在于,包括:

剥离平台,所述剥离平台用于固定所述待处理面板,所述待处理面板包括承载基板和设于所述承载基板上的柔性显示面板;

激光发生器,所述激光发生器用于对所述待处理面板进行激光扫描处理;

振荡仪,所述振荡仪用于对经所述激光扫描处理的所述待处理面板进行振荡处理;

分离机构,所述分离机构用于将经所述振荡处理的所述待处理面板的所述承载基板和柔性显示面板进行分离。

7.根据权利要求6所述的剥离设备,其特征在于,还包括:

驱动机构,所述驱动机构与所述剥离平台连接,用于驱动所述剥离平台沿第一方向移动。

8.根据权利要求7所述的剥离设备,其特征在于,所述剥离平台为真空吸附平台;和/或

所述振荡仪为超声波发生器。

9.根据权利要求8所述的剥离设备,其特征在于,所述驱动机构用于驱动所述剥离平台沿第一方向通过所述超声波发生器,且用于控制所述剥离平台通过所述超声波发生器时,使所述超声波发生器和所述待处理面板在第二方向上的距离为3~5mm,所述第二方向为与所述第一方向垂直的方向。

10.根据权利要求6~9任一项所述的剥离设备,其特征在于,所述分离机构包括:

机械臂和与所述机械臂连接的吸盘,所述吸盘用于吸附所述承载基板,并在所述机械臂的作用下使所述承载基板和所述柔性显示面板进行分离。

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