[发明专利]剥离设备及显示面板的制备方法在审

申请号：	202110954371.3	申请日：	2021-08-19
公开（公告）号：	CN115377335A	公开（公告）日：	2022-11-22
发明（设计）人：	苑立阁	申请（专利权）人：	广东聚华印刷显示技术有限公司
主分类号：	H01L51/56	分类号：	H01L51/56;H01L51/00;H01L21/67;H01L21/78
代理公司：	华进联合专利商标代理有限公司 44224	代理人：	刘阳
地址：	510700 广东省广州市***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	剥离设备显示面板制备方法
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【说明书】：

本发明提供了一种剥离设备及显示面板的制备方法，其中，显示面板的制备方法包括以下步骤：提供待处理面板，待处理面板包括承载基板和设于承载基板上的柔性显示面板；将待处理面板进行激光扫描处理；将经激光扫描处理的待处理面板进行振荡处理；将经振荡处理的待处理面板的承载基板和柔性显示面板进行分离。该显示面板的制备方法操作简单，且能够有效地减少承载基板和柔性显示面板分离过程中出现的剥离点缺陷，提高柔性显示面板的剥离良率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及剥离设备及显示面板的制备方法。

背景技术

目前柔性器件制作工艺大多都是在承载基板(如玻璃)上涂布一层胶体(如聚酰亚胺，PI)，然后再在胶体上制作柔性显示面板，故在制备完柔性显示面板后需要将其与承载基板进行剥离。目前主要有两种剥离方法，一种为机械剥离法，一种为激光剥离法，其中，激光剥离法更方便量产，目前应用得更为普遍，其原理是：通过激光发生器对待处理面板进行照射，柔性显示面板与承载基板之间的胶体PI在激光能量的作用下碳化，从而使得柔性显示面板与承载基板之间的粘黏性降低，然后利用外力(如吸盘)等的作用下将承载基板移走，即可实现柔性显示面板和承载基板的剥离。传统的方法在剥离的过程中，很容易出现剥离点缺陷，进而影响柔性显示面板的质量及其使用寿命。因此急需研发一种能够在降低或避免对柔性显示面板损伤的基础上实现承载基板剥离的方法，以提高剥离良率，提高柔性显示面板的质量。

发明内容

基于此，有必要提供一种剥离设备及显示面板的制备方法。该显示面板的制备方法操作简单，且能够有效地减少承载基板和柔性显示面板分离过程中出现的剥离点缺陷，提高柔性显示面板的剥离良率。

一种显示面板的制备方法，包括以下步骤：

提供待处理面板，所述待处理面板包括承载基板和设于所述承载基板上的柔性显示面板；

将所述待处理面板进行激光扫描处理；

将经激光扫描处理的所述待处理面板进行振荡处理；

将经振荡处理的所述待处理面板的所述承载基板和所述柔性显示面板进行分离。

在其中一些实施方式中，所述振荡处理的步骤中，采用超声波发生器进行所述振荡处理，所述超声波发生器的频率为28～40KHz。

在其中一些实施方式中，所述振荡处理的步骤中，将所述待处理面板通过真空吸附固定于剥离平台上，并使所述剥离平台以30～100mm/s的速度沿第一方向通过所述超声波发生器，且当所述剥离平台通过所述超声波发生器时，所述超声波发生器和所述待处理面板在第二方向上的距离为3～5mm；

其中，所述第二方向为与第一方向垂直的方向；

所述真空吸附的真空度为-80KPa～-50KPa。

在其中一些实施方式中，所述激光扫描处理的步骤中，利用激光对所述待处理面板的所述承载基板和所述柔性显示面板之间的界面进行所述激光扫描处理；其中，所述激光的频率为300～600Hz，所述激光的能量密度为180～240mj/cm²。