[发明专利]吸气剂磁控靶材在审
| 申请号： | 202110956500.2 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113652662A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 吴文一 | 申请（专利权）人： | 安徽益东惠电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/15;B22F7/08;B23K31/02 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 刘静怡 |
| 地址： | 239000 安徽省滁州市花园西路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸气 剂磁控靶材 | ||
1.一种吸气剂磁控靶材，其特征在于：
所述吸气剂磁控靶材包括吸气剂合金靶材(1)和紫铜背板(2)，所述吸气剂合金靶材(1)为溅射镀膜的材料，紫铜背板(2)起到为吸气剂合金靶材(1)降温散热和导磁的作用；
所述吸气剂合金靶材(1)的原料包括锆金属粉末、钴金属粉末和铼金属粉末，所述紫铜背板(2)焊接于吸气剂合金靶材(1)的背面；
所述吸气剂磁控靶材的制作工艺具体包括以下步骤：
S1、将锆、钴和铼三种金属粉末混料后，得到混料合金，将混料合金装入包套模具中，采用热等静压工艺，向包套各方向施加同等压力，同时施以高温，在高温高压的作用下，使混料合金得以烧结和致密化，制得吸气剂合金靶材(1)的半成品；
S2、将热等静压后的吸气剂合金靶材(1)的半成品切割成矩形，制得吸气剂合金靶材(1)成品；
S3、将紫铜背板(2)焊接于吸气剂合金靶材(1)的背面即可。
2.根据权利要求1所述的一种吸气剂磁控靶材，其特征在于：所述包套模具为矩形，所述吸气剂合金靶材(1)的尺寸为600mm*100mm*10mm。
3.根据权利要求1所述的一种吸气剂磁控靶材，其特征在于：所述紫铜背板(2)与吸气剂合金靶材(1)焊接的焊料采用含铟的焊料。
4.根据权利要求1所述的一种吸气剂磁控靶材，其特征在于：所述紫铜背板(2)的尺寸为620mm*120mm*10mm。
5.根据权利要求1所述的一种吸气剂磁控靶材，其特征在于：所述紫铜背板(2)在焊接安装时需与冷却水槽路相贴，起到冷却散热吸气剂的作用。
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