[发明专利]吸气剂磁控靶材

说明书

本发明公开了一种吸气剂磁控靶材，其为吸气剂溅射镀膜设备中要装载的主要材料，吸气剂磁控靶材包括吸气剂合金靶材和紫铜背板，紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面；吸气剂磁控靶材的制作工艺具体包括以下步骤：S1、将锆、钴和铼三种金属粉末混料后装入包套模具中，采用热等静压工艺，向包套各方向施加同等压力，同时施以高温，使混料合金得以烧结和致密化，制得吸气剂合金靶材的半成品；S2、将热等静压后的吸气剂合金靶材的半成品切割成矩形，制得吸气剂合金靶材成品；S3、将紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面即可。本发明紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面，紫铜背板起到为吸气剂合金靶材的散热和导磁的作用。

技术领域

本发明涉及吸气剂技术领域，具体为一种吸气剂磁控靶材。

背景技术

制作磁控溅射靶材的目的是用作阴极溅射的材料。通过使惰性气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶材，击出阴极靶材的原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。

吸气剂磁控靶材实际上就是吸气剂被压制成块状金属的合金，它的使用需要通过在基材上生长出吸气剂，通常是基材表面或内部空间被镀上一层吸气剂薄膜，这个吸气剂薄膜在一定的真空压强下或适当的温度下被激活，从而起到吸收活性气体的作用。

吸气剂磁控靶材在工作过程中，要加380V交流电，在溅射过程中被气体离子频繁撞击，其表面和内部会产生大量的热量，不利于其维持正常工作，为此，我们推出一种焊接有紫铜背板的吸气剂磁控靶材。

发明内容

本发明的目的在于提供一种吸气剂磁控靶材，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种吸气剂磁控靶材，其为吸气剂溅射镀膜设备中要装载的主要材料，所述吸气剂磁控靶材包括吸气剂合金靶材和紫铜背板，所述吸气剂合金靶材为溅射镀膜的材料，紫铜背板起到为吸气剂合金靶材降温散热和导磁的作用；

所述吸气剂合金靶材的原料包括锆金属粉末、钴金属粉末和铼金属粉末，所述紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面；

所述吸气剂磁控靶材的制作工艺具体包括以下步骤：

S1、将锆、钴和铼三种金属粉末混料后，得到混料合金，将混料合金装入包套模具中，采用热等静压工艺，向包套各方向施加同等压力，同时施以高温，在高温高压的作用下，使混料合金得以烧结和致密化，制得吸气剂合金靶材的半成品；

S2、将热等静压后的吸气剂合金靶材的半成品切割成矩形，制得吸气剂合金靶材成品；

S3、将紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面即可。

所述紫铜背板与吸气剂合金靶材焊接的焊料采用含铟的焊料。该含铟的焊料具有低熔点，抗疲劳，延展性好等特性，使紫铜背板与吸气剂合金靶材之间的连接更具润湿性，不宜被氧化，焊接过程致密性高，稳定性强。

所述紫铜背板的尺寸为620mm*120mm*10mm；紫铜背板在焊接安装时需与冷却水槽路相贴，起到冷却散热吸气剂的作用。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明采用热等静压工艺，向包套各方向施加同等压力，同时施以高温，在高温高压的作用下，使混料合金得以烧结和致密化，获得吸气剂合金靶材；

吸气剂合金靶材在工作过程中，要在吸气剂合金靶材上加380V交流电，在溅射过程中被气体离子频繁撞击，其表面和内部会产生大量的热量，需要焊接传热型良好的紫铜背板及时降温散热以维持正常工作。

紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面，紫铜背板起到为吸气剂合金靶材降温散热和导磁的作用；

紫铜背板与吸气剂合金靶材焊接的焊料采用含铟的焊料。该含铟的焊料具有低熔点，抗疲劳，延展性好等特性，使紫铜背板与吸气剂合金靶材之间的连接更具润湿性，不宜被氧化，焊接过程致密性高，稳定性强。