[发明专利]一种旋转靶材在审
| 申请号： | 202110959305.5 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113667950A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;吴旌 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 | ||
1.一种旋转靶材，其特征在于，所述的旋转靶材包括靶材本体，所述的靶材本体为环形结构，所述的靶材本体两侧表面均设置有同轴的凸台，所述的靶材本体和凸台为一体式结构，所述凸台的表面分为中心区域的平面以及外周区域的梯形斜面。
2.根据权利要求1所述的旋转靶材，其特征在于，所述靶材本体的内表面直径为124.5～125.5mm。
3.根据权利要求1或2所述的旋转靶材，其特征在于，所述靶材本体的长度为2939.5～2940.5mm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的旋转靶材，其特征在于，所述凸台的长度为2691.5～2692.5mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的旋转靶材，其特征在于，所述凸台中心区域的直径为166.5～167.5mm。
6.根据权利要求1-5任一项所述的旋转靶材，其特征在于，所述凸台外周区域的边缘直径为170.5～171.5mm。
7.根据权利要求1-6任一项所述的旋转靶材，其特征在于，所述的梯形斜面由中心向外周方向分为过渡区斜面和加厚区平面。
8.根据权利要求1-7任一项所述的旋转靶材，其特征在于，所述过渡区斜面与水平面的夹角为圆弧角α，所述圆弧角α的弧度半径为3.0mm；
优选地，所述加厚区平面与过渡区斜面的夹角为圆弧角β，所述圆弧角β的弧度半径为3.0mm。
9.根据权利要求1-8任一项所述的旋转靶材，其特征在于，所述过渡区的长度为150mm。
10.根据权利要求1-9任一项所述的旋转靶材，其特征在于，所述加厚区的长度为50mm。
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