[发明专利]显示面板的传送单元及工艺设备

权利要求书

1.一种显示面板的传送单元，所述传送单元用于在各个工艺单元间传送所述显示面板的衬底基板，其特征在于，包括：

缓冲室，所述缓冲室包括第一容纳腔，所述衬底基板置于所述第一容纳腔内；

加热组件，所述加热组件置于所述第一容纳腔内，且所述加热组件不与所述衬底基板接触；

第一温度探测器，所述第一温度探测器置于所述第一容纳腔内，所述第一温度探测器配置为获取所述第一容纳腔内的温度；

控制器，所述控制器与所述加热组件及所述第一温度探测器电连接，所述控制器配置为控制所述加热组件的开启或关闭，以使所述第一容纳腔内的温度到达目标温度。

2.根据权利要求1所述的显示面板的传送单元，其特征在于，沿竖直方向所述加热组件位于所述缓冲室的顶壁与所述衬底基板之间，且所述加热组件在所述缓冲室的底壁上的正投影覆盖所述衬底基板在所述底壁上的正投影。

3.根据权利要求1所述的显示面板的传送单元，其特征在于，所述显示面板的传送单元还包括降温组件，所述降温组件配置为对所述缓冲室进行降温。

4.根据权利要求3所述的显示面板的传送单元，其特征在于，所述缓冲室上开设有与所述第一容纳腔连通的进气口及第一出气口，所述降温组件包括：

驱动装置，所述驱动装置与所述控制器连接，所述驱动装置包括壳体，所述壳体包括填充有惰性气体的第二容纳腔，所述驱动装置还包括置于所述第二容纳腔内的泵；

进风通道，所述进风通道的一端与所述进气口连接，所述进风通道的另一端与所述第二容纳腔连通；

第一出风通道，所述第一出风通道的一端与所述第一出气口连接，所述第一出风通道的另一端与所述第二容纳腔连通。

5.根据权利要求4所述的显示面板的传送单元，其特征在于，所述缓冲室上开设有与所述第一容纳腔连通的第二出气口；

所述降温组件还包括第二出风通道，所述第二出风通道的一端与所述第二出气口连接，且所述第二出风通道的另一端与所述第二容纳腔连通。

6.根据权利要求5所述的显示面板的传送单元，其特征在于，所述第一出气口和/或所述第二出气口位于所述缓冲室的远离所述驱动装置的一侧。

7.根据权利要求4所述的显示面板的传送单元，其特征在于，所述加热组件包括加热网，所述加热网位于所述进气口与所述衬底基板之间。

8.根据权利要求4所述的显示面板的传送单元，其特征在于，所述驱动装置还包括置于所述第二容纳腔内的过滤器，所述过滤器配置为对进入所述进风通道内的惰性气体进行过滤。

9.根据权利要求1所述的显示面板的传送单元，其特征在于，还包括第二温度探测器，所述第二温度探测器置于所述第一容纳腔内，所述第二温度探测器与所述控制器电连接，所述第二温度探测器相较于所述第一温度探测器更加靠近所述加热组件，所述第一温度探测器相较于所述第二温度探测器更加靠近所述衬底基板。

10.根据权利要求1所述的显示面板的传送单元，其特征在于，沿竖直方向上，所述加热组件与所述衬底基板之间的距离范围为10cm至20cm。

11.一种工艺设备，其特征在于，所述工艺设备包括权利要求1至10任一项所述的显示面板的传送单元。