[发明专利]显示面板的传送单元及工艺设备

说明书

本申请实施例提供了一种显示面板的传送单元及工艺设备，显示面板的传送单元用于在各个工艺单元间传送显示面板的衬底基板，显示面板的传送单元包括缓冲室、加热组件、第一温度探测器及控制器。其中，缓冲室包括第一容纳腔，衬底基板置于第一容纳腔内；加热组件置于第一容纳腔内，且加热组件不与衬底基板接触；第一温度探测器置于第一容纳腔内，第一温度探测器配置为获取第一容纳腔内的温度；控制器与加热组件及第一温度探测器电连接，控制器配置为控制加热组件的开启或关闭，以使第一容纳腔内的温度到达目标温度。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种显示面板的传送单元及工艺设备。

背景技术

显示面板的制作过程中，如在显示面板的蒸镀过程中，显示面板的衬底基板需要通过传送单元在各个蒸镀单元之间传送衔接。

相关技术中，各个蒸镀单元内具有高温的蒸发源，使得各个蒸镀单元内的温度较高，从而使得各个蒸镀单元内的温度高于常温状态下的传送单元之内的温度。基于此，衬底基板由蒸镀单元进入传送单元后，蒸镀单元及传送单元间的温差使得衬底基板产生轻微变形，从而导致衬底基板的像素点位与掩膜版上的孔位出现偏差，从而影响显示面板的发光性，进而影响显示面板的良率。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种显示面板的传送单元及工艺设备，以提高显示面板的良率。具体技术方案如下：

本申请实施例的一方面提供了一种显示面板的传送单元，所述传送单元用于在各个工艺单元间传送所述显示面板的衬底基板，包括缓冲室、加热组件、第一温度探测器及控制器。其中，所述缓冲室包括第一容纳腔，所述衬底基板置于所述第一容纳腔内；所述加热组件置于所述第一容纳腔内，且所述加热组件不与所述衬底基板接触；所述第一温度探测器置于所述第一容纳腔内，所述第一温度探测器配置为获取所述第一容纳腔内的温度；所述控制器与所述加热组件及所述第一温度探测器电连接，所述控制器配置为控制所述加热组件的开启或关闭，以使所述第一容纳腔内的温度到达目标温度。

一些实施例中，沿竖直方向上所述加热组件位于所述缓冲室的顶壁与所述衬底基板之间，且所述加热组件在所述缓冲室的底壁上的正投影覆盖所述衬底基板在所述底壁上的正投影。

一些实施例中，所述显示面板的传送单元还包括降温组件，所述降温组件配置为对所述缓冲室进行降温。

一些实施例中，所述缓冲室上开设有与所述第一容纳腔连通的进气口及第一出气口，所述降温组件包括驱动装置、进风通道及第一出风通道。其中，所述驱动装置与所述控制器连接，所述驱动装置包括壳体，所述壳体包括填充有惰性气体的第二容纳腔，所述驱动装置还包括置于所述第二容纳腔内的泵；所述进风通道的一端与所述进气口连接，所述进风通道的另一端与所述第二容纳腔连通；所述第一出风通道的一端与所述第一出气口连接，所述第一出风通道的另一端与所述第二容纳腔连通。

一些实施例中，所述缓冲室上开设有与所述第一容纳腔连通的第二出气口；所述降温组件还包括第二出风通道，所述第二出风通道的一端与所述第二出气口连接，且所述第二出风通道的另一端与所述第二容纳腔连通。

一些实施例中，所述第一出气口和/或所述第二出气口位于所述缓冲室的远离所述驱动装置的一侧。

一些实施例中，所述加热组件包括加热网，所述加热网位于所述进气口与所述衬底基板之间。

一些实施例中，所述驱动装置还包括置于所述第二容纳腔内的过滤器，所述过滤器配置为对进入所述进风通道内的所述第二容纳腔内的惰性气体进行过滤。

一些实施例中，所述显示基板的传送单元还包括第二温度探测器，所述第二温度探测器置于所述第一容纳腔内，所述第二温度探测器与所述控制器电连接，所述第二温度探测器相较于所述第一温度探测器更加靠近所述加热组件，所述第一温度探测器相较于所述第二温度探测器更加靠近所述衬底基板。