[发明专利]显示面板及其制备方法有效
申请号: | 202110962239.7 | 申请日: | 2021-08-20 |
公开(公告)号: | CN113745441B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 汪国杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H10K50/17 | 分类号: | H10K50/17;H10K50/15;H10K71/12 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 何志军 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
本申请公开了一种显示面板及其制备方法,其中所述制备方法包括:(1)在所述阳极上打印金属氧化物前驱体墨水溶液,并使所述前驱体墨水溶液固化成金属氧化物前驱体层;(2)在所述金属氧化物前驱体层上打印空穴传输墨水溶液并使所述空穴传输墨水溶液固化;(3)通过加热处理使所述金属氧化物前驱体层的分解形成金属氧化物空穴注入层,以及使所述空穴传输墨水溶液交联形成空穴传输层。本申请的显示面板及其制备方法使空穴注入层和空穴传输层的紧密接触,有利于空穴传输,提高器件效率,还改善了目前金属氧化物制作空穴注入层成本较高且工艺复杂的技术缺点,简化工艺流程,减少设备投资。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板及其制备方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)器件具有自发光,视角广,对比度高,响应速度快,轻薄,可弯折等特点,已成为显示技术的主要趋势。
相对于采用真空热蒸镀的方式来制作OLED器件,喷墨打印技术(IJP)因其材料利用率高(98%),不使用精细金属掩模版(FMM),以及可以制作大尺寸OLED显示装置等优点,已成为大尺寸OLED器件及显示装置的主流制造方案。
目前喷墨打印OLED器件的主要结构为,阳极(Anode)、空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、发光层(EML)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)和阴极(Cathode)。其中HIL和HTL为有机材料,ETL为有机材料,而EIL为无机材料,例如NaF,LiF,Ca等。
相对于有机功能材料,无机过渡金属氧化物半导体空穴注入材料因其具有良好的成膜性能,优异的电学性质,可调的能级结构,以及自身的化学稳定性而成为IJP-OLED器件制作的明星材料。无机氧化物材料可通过真空热蒸镀的技术而成膜,但真空设备成本高,材料利用率低,也可通过真空溅射金属,再氧化的方式成膜,但工艺复杂,设备成本高昂,制程稳定性差。
因此,亟需提供一种显示面板及其制备方法,以解决上述技术问题。
发明内容
为了解决上述技术问题,本申请提供一种显示面板及其制备方法,能使空穴注入层和空穴传输层的紧密接触,还能改善目前金属氧化物制作空穴注入层成本较高且工艺复杂的技术缺点,简化工艺流程,减少设备投资。
为了实现上述目的,本申请所述显示面板及其制备方法采取了以下技术方案。
本申请提供一种显示面板的制备方法,所述制备方法包括:
提供一基板,并在所述基板上制备阳极;
在所述阳极上打印金属氧化物前驱体墨水溶液,并使所述前驱体墨水溶液固化成金属氧化物前驱体层;
在所述金属氧化物前驱体层上打印空穴传输墨水溶液,并使所述空穴传输墨水溶液固化;以及,
通过加热处理使所述金属氧化物前驱体层的分解形成金属氧化物空穴注入层,以及使所述空穴传输墨水溶液交联形成空穴传输层。
可选地,在本申请的一些实施例中,在所述加热处理的步骤中,加热温度为150℃~250℃,加热时间为1h~2h。
可选地,在本申请的一些实施例中,采用真空干燥的方式对所述前驱体墨水溶液进行固化处理,并且压力为10torr ~100torr,压力保持时间为60s~300s。
可选地,在本申请的一些实施例中,采用真空干燥的方式对所述空穴传输墨水溶液进行固化处理,并且压力为10 torr ~100 torr,压力保持时间为60s~300s。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述金属氧化物前驱体墨水溶液的制备方法包括以下步骤:
配备金属氧化物前驱体固体和溶剂;
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