[发明专利]涂覆显影设备

权利要求书

1.一种涂覆显影设备，包括依次连接的设备前端模块、工艺站以及接口站，其中，工艺站包括：

涂覆单元，包含至少一列垂直堆叠的涂覆模块，用于对基板进行涂覆处理；

显影单元，包含至少一列垂直堆叠的显影模块，用于对基板进行显影处理；

至少一个横向运动的移动传输部；以及

至少一个垂直运动的侧面机械手；

其中基板在涂覆单元完成处理后，由所述至少一个侧面机械手将基板搬入移动传输部中，并由移动传输部传送至接口站；基板在显影单元完成处理后，由所述至少一个侧面机械手将基板搬入移动传输部中，并由移动传输部传送至设备前端模块。

2.根据权利要求1所述的涂覆显影设备，其特征在于，

涂覆单元还包括至少一列垂直堆叠的热处理模块，位于涂覆模块的对面，用于对涂覆处理前后的基板进行加热和冷却处理；

显影单元还包括至少一列垂直堆叠的热处理模块，位于显影模块的对面，用于对显影处理前后的基板进行加热和冷却处理。

3.根据权利要求2所述的涂覆显影设备，其特征在于，所述至少一个移动传输部位于涂覆单元和显影单元的顶部或底部。

4.根据权利要求3所述的涂覆显影设备，其特征在于，

涂覆单元还包括至少一个涂覆机械手，用于在涂覆单元的涂覆模块和热处理模块之间传送基板；

显影单元还包括至少一个显影机械手，用于在显影单元的显影模块和热处理模块之间传送基板。

5.根据权利要求2所述的涂覆显影设备，其特征在于，所述至少一个移动传输部位于涂覆单元和显影单元的顶部和底部之间。

6.根据权利要求5所述的涂覆显影设备，其特征在于，

涂覆单元包括配置在位于涂覆单元和显影单元的顶部和底部之间的移动传输部上下两侧的至少一个涂覆机械手，用于在涂覆单元的涂覆模块和热处理模块之间传送基板；

显影单元包括配置在位于涂覆单元和显影单元的顶部和底部之间的移动传输部上下两侧的至少一个显影机械手，用于在显影单元的显影模块和热处理模块之间传送基板。

7.根据权利要求1所述的涂覆显影设备，其特征在于，至少一个所述侧面机械手配置在涂覆单元和显影单元之间，用于将在涂覆单元完成处理之后的基板搬入移动传输部，或者将在显影单元完成处理之后的基板搬入移动传输部。

8.根据权利要求1所述的涂覆显影设备，其特征在于，工艺站包括至少两个所述侧面机械手，所述至少两个所述侧面机械手中的至少一个侧面机械手配置在涂覆单元和设备前端模块之间，用于将在涂覆单元完成处理之后的基板搬入移动传输部，或者将在显影单元完成处理之后的基板从移动传输部搬出；

以及所述至少两个所述侧面机械手中的至少一个侧面机械手配置在显影单元和接口站之间，用于将在显影单元完成处理之后的基板搬入移动传输部，或者将在涂覆单元完成处理之后的基板从移动传输部搬出。

9.根据权利要求1所述的涂覆显影设备，其特征在于，工艺站包括至少三个所述侧面机械手，所述至少三个所述侧面机械手中的至少一个侧面机械手配置在涂覆单元和设备前端模块之间，用于将在显影单元完成处理之后的基板从移动传输部搬出；

所述至少三个所述侧面机械手中的至少一个侧面机械手配置在涂覆单元和显影单元之间，用于将在涂覆单元完成处理之后的基板搬入移动传输部，或者将在显影单元完成处理之后的基板搬入移动传输部；

以及所述至少三个所述侧面机械手中的至少一个侧面机械手配置在显影单元和接口站之间，用于将在涂覆单元完成处理之后的基板从移动传输部搬出。

10.根据权利要求1所述的涂覆显影设备，其特征在于，

设备前端模块包括设备前端机械手，设备前端机械手将在显影单元完成处理后的基板从移动传输部中搬出；

接口站包括接口机械手，接口机械手将在涂覆单元完成处理后的基板从移动传输部中搬出。