[发明专利]真空装置

权利要求书

1.一种真空装置，其特征在于，具备：

可动体；

筐体，收容所述可动体；以及

监视装置，安装于所述筐体，检测所述筐体的振动，

所述筐体具备第一流路，在从与所述监视装置的安装面垂直的方向观察即俯视时，所述第一流路以与所述监视装置重叠的方式使制冷剂流动。

2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述筐体具备使所述制冷剂在与所述可动体对置的部分流动的第二流路，

所述真空装置具备分支部，所述分支部将供给所述制冷剂的供给流路分支成所述第一流路和所述第二流路。

3.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述筐体具备使所述制冷剂在与所述可动体对置的部分流动的第二流路，

供给所述制冷剂的供给流路、所述第一流路和所述第二流路按照该顺序以串联的方式连接。

4.根据权利要求2或3所述的真空装置，其特征在于，

所述第一流路的密度比所述第二流路的密度高。

5.根据权利要求4所述的真空装置，其特征在于，

所述第一流路的流路截面积与所述第二流路的流路截面积相同，

从所述制冷剂流动的方向观察时，包含在规定的面积中的所述第一流路的数量比所述第二流路的数量多。

6.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述制冷剂是水。

7.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述第一流路的截面形状为与所述监视装置的安装面平行的方向的长度比与所述监视装置的安装面垂直的方向的长度长。