[发明专利]真空装置

说明书

本发明公开了真空装置。真空泵具备：泵转子；筐体，收容泵转子；以及监视装置，安装于筐体，检测筐体(3)的振动，筐体具备使制冷剂在与监视装置对置的部分流动的第一流路。

技术领域

本发明涉及一种真空装置。

背景技术

在专利文献1中公开了一种收容电机的真空泵。根据该文献，电机的旋转轴通过一对轴承被固定。在旋转轴设置有旋转叶片，电机使旋转叶片旋转，由此作为泵发挥作用。在轴承的滚珠劣化时，轴承振动。根据该文献，在轴承的固有振动数的旋转速度范围中，通过使该轴承的振动衰减，真空泵能够降低主轴的倾斜和轴向的错位。为了这种真空泵的预知保全，可以考虑安装搭载了传感器单元的监视装置。

专利文献1：日本特开2000-74080号公报

但是，在真空泵等振动源安装监视装置并非易事。具体地，由于与作为振动源的轴承较近的部分达到高温，所以导致监视装置的感测精度降低。当在远离振动源的部分设置监视装置时，虽然监视装置的温度下降，但是导致从轴承传递的振动衰减，所以导致振动检测精度降低。因此，需要这样的构造，即使是在振动源的附近筐体的温度上升的部位，也能够抑制监视装置的温度上升。

发明内容

真空装置具备：可动体；筐体，收容所述可动体；以及监视装置，安装于所述筐体，检测所述筐体的振动，所述筐体具备第一流路，在从与所述监视装置的安装面垂直的方向观察即俯视时，所述第一流路以与所述监视装置重叠的方式使制冷剂流动。

附图说明

图1是表示有关第一实施方式的真空泵的结构的简易立体图。

图2是表示真空泵的内部构造的示意侧视截面图。

图3是表示真空泵的内部构造的示意俯视截面图。

图4是表示流路的结构的框图。

图5是表示有关第二实施方式的流路的结构的框图。

图6是表示有关第三实施方式的真空泵的结构的简易立体图。

图7是表示真空泵的内部构造的示意侧视截面图。

图8是表示流路的结构的框图。

图9是表示有关第四实施方式的流路的结构的框图。

图10是表示有关第六实施方式的真空泵的结构的示意侧视截面图。

图11是表示电机冷却部的构造的示意侧视截面图。

图12是表示第一侧壁的构造的示意侧视截面图。

图13是表示传感器冷却部的结构的简易立体图。

图14是表示泵冷却部的结构的简易立体图。

图15是表示第二侧壁的构造的示意侧视截面图。

图16是表示有关第七实施方式的真空泵的结构的示意侧视截面图。

图17是表示传感器冷却部的结构的简易立体图。

附图标记说明

1、46、47、59、62、81…作为真空装置的真空泵；3、48、63、82…筐体；16…监视装置；21、55…第一流路；23、52…第二流路；25…作为可动体的泵转子；33…作为制冷剂的水；37…供给流路；38…分支部；72e、84e…作为第一流路的第三空洞；76e…作为第二流路的第四空洞。

具体实施方式

第一实施方式