[发明专利]基板搬送装置

说明书

本发明提供一种可减少灰尘对基板的附着的基板搬送装置。实施方式的基板搬送装置(1)包括：基板搬送用的搬送臂(2)；支柱(32)，角度不动地立设于基体(31)；上链节(33)，一端支撑搬送臂(2)，以能够转动的方式连结于支柱(32)，并且随着转动使搬送臂(2)升降；下链节(34)，以能够以与上链节(33)的转动的轴平行的轴为中心转动的方式连结于支柱(32)中的较与上链节(33)的连结部分靠下方的位置；连接链节(35)，以使上链节(33)随着下链节(34)的转动而转动的方式，能够转动地连结于上链节(33)及下链节(34)；及驱动部(4)，使下链节(34)转动。

技术领域

本发明涉及一种基板搬送装置。

背景技术

基板处理装置是在半导体或液晶面板等的制造步骤中对晶片或液晶基板等基板进行处理的装置。基板的处理中例如包括用来形成电路的蚀刻、抗蚀剂剥离、洗净、干燥等各种处理。在此种基板处理装置中，也存在一次性对多块基板进行处理的情形，但存在从对各基板的处理的均一性或再现性的观点出发，而对基板一块一块地进行处理的情形。将如上所述对基板一块一块地进行的处理称为逐片处理。

另外，为了避免粉尘附着于基板上，而将多块基板收纳于密封的盒子内，在各基板处理装置间进行基板的搬送。作为所述盒子，例如有前开式传送盒(Front-OpeningUnified Pods，FOUP)。

在进行逐片处理的基板处理装置中，由于是在一个腔室内对基板一块一块地进行处理，故而与一次性处理的情形时相比，处理效率低。因此，在基板处理装置内沿着水平方向排列配置多个实施各处理步骤的腔室，通过将各腔室中的处理同时实施或连续实施，来提高作业效率。

因此，在上文所述的基板处理装置中，在盒子与腔室之间搬送基板的基板搬送装置成为必需。基板搬送装置从自前一步骤搬送来的盒子中一块一块地取出未处理的基板并搬入腔室内，将腔室内结束处理的基板收纳至盒子中。

进而，在上文所述的基板处理装置设置了暂时载置基板的缓冲单元。并且，将在盒子与缓冲单元之间搬送基板的盒子(搬送)用的基板搬送装置和在交接台与腔室之间搬送基板的腔室(搬送)用的基板搬送装置分开，由此提高作业效率。

即，盒子用的基板搬送装置具有包括双臂的搬送机器人，利用其中一臂从盒子中取出未处理的基板，同时利用另一臂将处理完的基板装回盒子中。然后，搬送机器人移动到缓冲区，利用另一臂从缓冲区接收处理完的基板，同时利用其中一臂将未处理的基板置于缓冲区。

腔室用的基板搬送装置具有包括双臂的搬送机器人，利用其中一臂从缓冲区接收未处理的基板，同时利用另一臂将处理完的基板置于缓冲区。然后，搬送机器人移动到腔室，利用另一臂将处理完的基板从腔室搬出，同时利用其中一臂将未处理的基板搬入腔室内。

进而，作为提高基板处理装置的生产性的方法，采用如下方式，即通过将腔室上下堆叠配置，而在不扩大装置的覆盖区、即占有面积的情况下增加腔室数。在此种基板处理装置中，作为腔室用的基板搬送装置，除了需要使双臂向水平方向移动的机构以外，还需要使其沿着上下方向移动的机构。

作为此种包括使其沿着上下方向移动的机构的基板搬送装置，提出了专利文献1所示的装置。所述基板搬送装置是通过重叠的筒状容器沿着轴方向上下移动而使装置整体上下伸缩的拉杆式装置。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平11-87461号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]