[发明专利]一种镍蒸发料的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110979851.5 申请日: 2021-08-25
公开(公告)号: CN113664472B 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23P15/00 分类号: B23P15/00;C23C14/14;C23C14/24
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 蒸发 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种镍蒸发料的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括依次进行的第一锻伸处理、第二锻伸处理、车削处理、第三锻伸处理、清洗处理以及研磨处理;

所述第一锻伸处理为将坯料锻打至原横向尺寸的48~52%,温度为890~910℃;

所述第二锻伸处理为将所述第一锻伸处理后的坯料锻打至原横向尺寸的50~86%,温度为390~410℃;

所述第三锻伸处理为所述车削处理后的坯料拉拔至原横向尺寸的8~22%。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述车削处理为车削所述第二锻伸处理后的坯料表面至不低于原横向尺寸的75%。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述清洗处理为超声清洗处理。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述超声清洗处理包括依次进行的清洗油清洗以及异丙醇清洗。

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述清洗油包括煤油、汽油或柴油中的任意一种或至少两种的组合。

6.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述超声清洗的频率为40~100kHz。

7.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述清洗油清洗以及异丙醇清洗的时间分别独立地为3~8min。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述研磨处理前进行预清洗。

9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述预清洗为酸洗处理。

10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述酸洗处理的温度为35~45℃。

11.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述研磨处理在研磨液中进行。

12.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,所述研磨液为含有椰油二乙醇酰胺的洗涤剂。

13.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,所述研磨处理的转速为150~170rpm。

14.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,所述研磨处理的时间为10~15min。

15.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述研磨处理后进行干燥处理。

16.根据权利要求15所述的制备方法,其特征在于,所述干燥处理为真空干燥。

17.根据权利要求16所述的制备方法,其特征在于,所述真空干燥的温度为60~80℃。

18.根据权利要求16所述的制备方法,其特征在于,所述真空干燥的真空度不大于10-2Pa。

19.根据权利要求16所述的制备方法,其特征在于,所述真空干燥的时间为1~1.5h。

20.根据权利要求1-19任一项所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括依次进行:

第一锻伸处理,所述第一锻伸处理为将坯料锻打至原横向尺寸的48~52%,温度为890~910℃;

第二锻伸处理,所述第二锻伸处理为将所述第一锻伸处理后的坯料锻打至原横向尺寸的50~86%,温度为390~410℃;

车削处理,所述车削处理为车削所述第二锻伸处理后的坯料表面至不低于原横向尺寸的75%;

第三锻伸处理,所述第三锻伸处理为所述车削处理后的坯料拉拔至原横向尺寸的8~22%;

清洗处理,所述清洗处理为超声清洗处理,所述超声清洗处理包括依次进行的清洗油清洗以及异丙醇清洗,所述超声清洗的频率为40~100kHz,所述清洗油清洗以及异丙醇清洗的时间分别独立地为3~8min;

预清洗,所述预清洗为酸洗处理,温度为35~45℃;

研磨处理,所述研磨处理在研磨液中进行,所述研磨液为含有椰油二乙醇酰胺的洗涤剂,转速为150~170rpm,时间为10~15min;

干燥处理,所述干燥处理为真空干燥,温度为60~80℃,时间为1~1.5h,真空度不大于10-2Pa。

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