[发明专利]一种晶圆盒、核对晶圆的方法

权利要求书

1.一种晶圆盒，其特征在于，晶圆盒包括：晶圆盒盒体、控制模块、图像采集模块；

所述晶圆盒盒体上设置有多个用于容纳晶圆的卡槽，所述晶圆的侧边上设置有晶圆识别号，所述图像采集模块的位置与所述晶圆设有所述晶圆识别号的一边对应，所述控制模块与所述图像采集模块连接；

其中，所述图像采集模块用于对所述卡槽内的各个晶圆进行扫描，以采集各个所述晶圆对应的所述晶圆识别号信息作为各个所述晶圆的核对信息，并传输到所述控制模块进行处理。

2.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述控制模块被配置为对所述晶圆识别号信息进行识别以得到所述晶圆识别号，并将标准晶圆识别号集与所述晶圆识别号进行比对，以对所述晶圆进行核对。

3.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，晶圆盒还包括：通讯模块，所述通讯模块用于建立所述控制模块与外部设备之间的通讯连接。

4.如权利要求3所述的晶圆盒，其特征在于，所述控制模块还被配置为对所述晶圆识别号信息进行识别以得到所述晶圆识别号，并通过所述通讯模块将所述晶圆识别号传输至所述外部设备，以使得所述外部设备将标准晶圆识别号集与所述晶圆识别号进行比对，以对所述晶圆进行核对。

5.如权利要求1-4任一项所述的晶圆盒，其特征在于，所述图像采集模块包括：

滑轨，以及设置在所述滑轨上的单个电荷耦合器，所述滑轨的滑动方向与所述卡槽的设置方向一致，且所述电荷耦合器能够沿所述滑轨的滑动方向进行滑动，以对所述卡槽内的各个晶圆顺序进行扫描，依次采集各个所述晶圆的所述晶圆识别号信息，并传输到所述控制模块进行处理。

6.如权利要求1-4任一项所述的晶圆盒，其特征在于，所述图像采集模块包括：

滑轨，以及至少两个设置在所述滑轨上的电荷耦合器，至少两个所述电荷耦合器能够沿所述滑轨的滑动方向进行滑动，以对所述卡槽内的各个晶圆进行扫描，同时采集多个所述晶圆的所述晶圆识别号信息，并传输到所述控制模块进行处理。

7.如权利要求1-4任一项所述的晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒还包括：

显示模块，与所述控制模块连接，所述显示模块被配置为显示所述晶圆识别号，并将所述晶圆识别号中有误的突出显示。

8.一种核对晶圆的方法，应用于如权利要求1-7任一项所述的晶圆盒，其特征在于，所述核对晶圆的方法包括：

对所述晶圆盒的卡槽内的各个晶圆进行扫描，以采集各个所述晶圆对应的所述晶圆识别号信息作为各个所述晶圆的核对信息；

将采集到的所述晶圆识别号信息传输到控制模块进行处理。

9.如权利要求8所述的核对晶圆的方法，其特征在于，所述控制模块对所述晶圆识别信息进行处理的步骤，包括：

对所述晶圆识别号信息进行识别，得到所述晶圆识别号；

将标准晶圆识别号集与所述晶圆识别号进行比对，以对所述晶圆进行核对；其中，所述标准晶圆识别号集预先存储在所述控制模块或所述控制模块通过一通讯模块自外部设备获取。

10.如权利要求9所述的核对晶圆的方法，其特征在于，所述将标准晶圆识别号集与所述晶圆识别号进行比对包括：

将所述晶圆识别号与所述标准晶圆识别号集中的各个标准晶圆识别号进行比对，当所述晶圆识别号与各个所述标准晶圆识别号都无法匹配成功时，判定所述晶圆识别号有误；

或，

将所述晶圆识别号在所述晶圆盒的顺序，与所述晶圆识别号匹配的标准晶圆识别号在所述标准晶圆识别号集的顺序进行比对，当顺序不一致时，判定所述晶圆识别号有误。