[发明专利]一种晶圆棒自动截断方法

权利要求书

1.一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，步骤包括：

对晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度，并确定所述晶圆棒的有效长度的测量工序；

基于所述晶圆棒的有效长度并确定相应分段的划线位置的划线工序；

依次在划线位置处对所述晶圆棒进行分段切割的截断工序；

在所述划线工序中设有在所述有效长度中选择合适划线长度的判断。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，所述测量工序中，具体包括：

采集所述晶圆棒外型数据并确定所述晶圆棒是否包括头部段和/或尾部段；

若是，记录所述头部段和/或所述尾部段，其等径段长度为所述有效长度；若不是，所述晶圆棒长度即为所述有效长度。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，在采集所述晶圆棒外型数据时，还包括：

对所述晶圆棒进行外观检验扫描，以确定在所述有效长度范围内是否出现质量异常段；

当出现所述异常段时，记录其位置并测量其长度，并在所述划线工序中将所述异常段单独划线。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，所述异常段包括在所述有效长度上的所述晶圆棒直径小于标准尺寸的直径异常段和/或所述晶圆棒任一晶线出现断线的孪晶异常段。

5.根据权利要求3或4所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，所述划线工序，具体包括：

确定所述有效长度是否含有所述异常段；

若不含有所述异常段：

控制所述有效长度与预先排序设定的若干个不同标准长度的基准进行对比；

判断所述有效长度是哪一所述基准长度的倍数；

选出该所述基准，并计算出在所述有效长度上含有多少个所述基准长度；再在所述有效长度上所述基准的整数倍的位置处进行划线。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，若含有所述异常段：

控制则所述有效长度中所有不含所述异常段的余段长度分别与排序后的所述基准进行对比；

依次判断所有所述余段长度是哪一所述基准长度的倍数；

选出相对应的所述基准，并分别计算出在所述余段长度上含有多少个所述基准长度；

再在所有所述余段长度上所述基准的整数倍的位置处进行划线，并在所述异常段上也划线。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，当所述有效长度长度小于最短的所述基准长度时，停止划线。

8.根据权利要求6或7所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，对于含有所述头部段和/或所述尾部段的所述晶圆棒，在所述有效长度内划线的同时，还包括对所述头部段和/或所述尾部段的划线；

对于未含有所述头部段或所述尾部段的所述晶圆棒，只在所述有效长度内划线。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，截断工序，具体包括：

固定所述晶圆棒；

基于切线位置，依次对所述晶圆棒进行分段切割。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，还包括打标工序，具体包括：

基于所述晶圆棒的规格及截断后的短棒的长度，自动生成标识贴，并在每一个短棒的端面上进行粘贴；

所述自动生成标识贴与所述截断工序中的切割截断是同时进行。