[发明专利]一种晶圆棒自动截断方法

说明书

本发明提供一种晶圆棒自动截断方法，步骤包括：对晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度，并确定所述晶圆棒的有效长度的测量工序；基于所述晶圆棒的有效长度并确定相应分段的划线位置的划线工序；依次在划线位置处对所述晶圆棒进行分段切割的截断工序；在所述划线工序中设有在所述有效长度中选择合适划线长度的判断。本发明截断方法可自动测量晶圆棒长度，并自动完成划线及移动对中，依据优先需求的短棒长度进行判断切割，同时在相应被截断的短棒端面上张贴标识，自动化程度高且精确度高，生产效率高。

技术领域

本发明属于硅单晶棒截断技术领域，尤其是涉及一种晶圆棒自动判断并自动切割截断的方法。

背景技术

现有直拉单晶中所用的截断切割设备都是半人工半自动控制，即人工划线、质检后再手动搬运至截断机设备上，再人工操作截断设备进行切割截断。而由于人工测量、计算、划线及对准，都存在误差，导致后续截断后的短棒的成品率较低，而且生产极不稳定，工时浪费严重，且产品一致性较差，生产率低。现有人工操作时，截断一颗晶圆棒的时间为4-5h，时间较长，严重制约批量化生产。

发明内容

本发明提供一种晶圆棒自动截断方法，尤其是适用于晶圆棒截断切割，解决了现有技术中自动化程度低、产品一致性差、生产效率低的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：

一种晶圆棒自动截断方法，步骤包括：

对晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度，并确定所述晶圆棒的有效长度的测量工序；

基于所述晶圆棒的有效长度并确定相应分段的划线位置的划线工序；

依次在划线位置处对所述晶圆棒进行分段切割的截断工序；

在所述划线工序中设有在所述有效长度中选择合适划线长度的判断。

进一步的，所述测量工序中，具体包括：

采集所述晶圆棒外型数据并确定所述晶圆棒是否包括头部段和/或尾部段；

若是，记录所述头部段和/或所述尾部段，其等径段长度为所述有效长度；

若不是，所述晶圆棒长度即为所述有效长度。

进一步的，在采集所述晶圆棒外型数据时，还包括：

对所述晶圆棒进行外观检验扫描，以确定在所述有效长度范围内是否出现质量异常段；

当出现所述异常段时，记录其位置并测量其长度，并在所述划线工序中将所述异常段单独划线。

进一步的，所述异常段包括在所述有效长度上的所述晶圆棒直径小于标准尺寸的直径异常段和/或所述晶圆棒任一晶线出现断线的孪晶异常段。

进一步的，所述划线工序，具体包括：

确定所述有效长度是否含有所述异常段；

若不含有所述异常段：

控制所述有效长度与预先排序设定的若干个不同标准长度的基准进行对比；

判断所述有效长度是哪一所述基准长度的倍数，选出该所述基准，并计算出在所述有效长度上含有多少个所述基准长度；

再在所述有效长度上所述基准的整数倍的位置处进行划线。

进一步的，若含有所述异常段：

控制则所述有效长度中所有不含所述异常段的余段长度分别与排序后的所述基准进行对比；

依次判断所有所述余段长度是哪一所述基准长度的倍数，选出相对应的所述基准，并分别计算出在所述余段长度上含有多少个所述基准长度；