[发明专利]一种铜钯银合金键合引线及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110986678.1 申请日: 2021-08-26
公开(公告)号: CN113699408B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 彭庶瑶;彭晓飞 申请(专利权)人: 江西蓝微电子科技有限公司
主分类号: C22C9/00 分类号: C22C9/00;C21D9/52;C22C1/02;C22F1/02;C22F1/08;C25D3/50;C25D7/06;H01L23/49;H01L21/48
代理公司: 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 代理人: 周松强
地址: 343000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 铜钯银 合金 引线 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种铜钯银合金键合引线制备方法,所述铜钯银合金键合引线包括引线本体,所述引线本体表面设置有镀钯保护层,所述引线本体直径为0.015毫米-0.05毫米,所述镀钯保护层厚度为0.2微米-0.6微米,其特征在于:所述方法使用铜钯银合金键合引线制备设备实现,所述铜钯银合金键合引线制备设备包括设备台(1),所述设备台(1)顶部左侧固定设置有炉体组件(2),所述炉体组件(2)顶部左侧固定设置有驱动机构(3),所述炉体组件(2)中的延伸炉体(22)内部设置有储料机构(4),所述储料机构(4)竖直方向上可升降的设置在驱动机构(3)中的第一往复丝杆(34)外侧,所述炉体组件(2)中的延伸炉体(22)两侧均固定嵌套设置有隔断机构(5),所述驱动机构(3)中的第一锥齿轮(33)驱动隔断机构(5)水平方向上左右位移,两个所述隔断机构(5)中的隔断板(52)相组合,炉体组件(2)中的延伸炉体(22)内部空间进行密封隔断,所述炉体组件(2)中的主炉体(21)内部以及储料机构(4)中的放置座(43)外侧共同固定设置有搅拌机构(6),所述搅拌机构(6)中的搅拌杆(69)对储料机构(4)中的坩埚(44)内部的原料进行搅拌,所述炉体组件(2)中的主炉体(21)内壁上固定设置有多个加热管(7),多个所述加热管(7)均对储料机构(4)中的坩埚(44)进行加热。

2.根据权利要求1所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法,其特征在于:所述炉体组件(2)包括主炉体(21)、延伸炉体(22)、氮气输入管(23)、氮气回收管(24)、抽真空管(25)和密封门(26),所述主炉体(21)固定设置于设备台(1)顶部左侧,且主炉体(21)内部保持真空状态,所述延伸炉体(22)固定嵌套设置于主炉体(21)顶部,所述氮气输入管(23)与氮气回收管(24)均固定贯穿设置于主炉体(21)左侧顶部,所述抽真空管(25)固定贯穿设置于延伸炉体(22)顶部右侧,所述密封门(26)通过合页转动设置于延伸炉体(22)正面右侧。

3.根据权利要求2所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法,其特征在于:所述驱动机构(3)包括驱动电机(31)、主动轴(32)、第一锥齿轮(33)、第一往复丝杆(34)和第二锥齿轮(35),所述驱动电机(31)固定设置于延伸炉体(22)顶部左侧,所述主动轴(32)顶端与驱动电机(31)传动连接,且其底端贯穿延伸炉体(22)并延伸至延伸炉体(22)内部,所述第一锥齿轮(33)固定套接设置于主动轴(32)外侧。

4.根据权利要求3所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法,其特征在于:所述储料机构(4)包括升降滑块(41)、L形连接臂(42)、放置座(43)和坩埚(44),所述升降滑块(41)套接设置于第一往复丝杆(34)外侧并与第一往复丝杆(34)螺纹连接,所述L形连接臂(42)固定设置于升降滑块(41)右侧,所述放置座(43)固定设置于L形连接臂(42)顶端,所述坩埚(44)放置于放置座(43)顶部,所述升降滑块(41)顶部后侧竖直方向上滑动贯穿设置有导向杆,所述导向杆顶端与延伸炉体(22)内壁固定连接以及底端与主炉体(21)内壁固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法,其特征在于:所述隔断机构(5)包括密封框(51)、隔断板(52)、驱动板(53)、第二往复丝杆(54)、从动轴(55)和第三锥齿轮(56),所述密封框(51)固定嵌套设置于延伸炉体(22)侧壁上,所述隔断板(52)水平方向上滑动设置于密封框(51)内侧,所述驱动板(53)固定设置于隔断板(52)顶部,所述第二往复丝杆(54)水平方向上贯穿驱动板(53)并与驱动板(53)螺纹连接,所述从动轴(55)通过超越离合器传动设置于第二往复丝杆(54)端部,所述从动轴(55)贯穿延伸炉体(22)外壁并延伸至延伸炉体(22)内部,所述第三锥齿轮(56)固定设置于从动轴(55)端部,所述第三锥齿轮(56)与第一锥齿轮(33)啮合,两个所述隔断板(52)靠近彼此的一侧均开设有第一容纳槽与第二容纳槽,所述第一往复丝杆(34)位于两个第一容纳槽内侧,所述导向杆位于两个第二容纳槽内侧。

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