[发明专利]一种兰姆波器件及其制备方法

权利要求书

1.一种兰姆波器件，其特征在于，包括由下至上依次设置的支撑衬底(1)、布拉格反射层(2)、压电薄膜(3)和叉指电极结构(4)；

所述布拉格反射层(2)包括交替层叠的低声阻抗层(21)和高声阻抗层(22)；

所述叉指电极结构(4)包括第一总线(41)、第二总线(42)、第一叉指电极(43)和第二叉指电极(44)；

所述第一总线(41)的第一端与所述第二总线(42)的第一端相对，且存在预设距离；

所述第一叉指电极(43)设于所述第一总线(41)上；

所述第二叉指电极(44)设于所述第二总线(42)上；

所述第一叉指电极(43)的形状和所述第二叉指电极(44)的形状为弧形。

2.根据权利要求1所述的兰姆波器件，其特征在于，所述第一叉指电极(43)包括至少两个间隔设置的上叉指电极；

所述第二叉指电极(44)包括至少两个间隔设置的下叉指电极；

相邻的两个所述上叉指电极之间置有一个所述下叉指电极；

相邻的所述上叉指电极与所述下叉指电极之间的距离相等。

3.根据权利要求2所述的兰姆波器件，其特征在于，所述第一叉指电极(43)包括第一上叉指电极(431)和第二上叉指电极(432)；

所述第一上叉指电极(431)设于所述第一总线(41)的第一端，且所述第一上叉指电极(431)的形状为圆环；所述第二上叉指电极(432)的形状为具有开口的圆环，所述第二上叉指电极(432)的开口形成放置所述第二总线(42)的通道；

所述第二上叉指电极(432)的直径大于所述第一上叉指电极(431)的直径，且所述第一上叉指电极(431)位于所述第二上叉指电极(432)内；

所述第二叉指电极(44)包括第一下叉指电极(441)和第二下叉指电极(442)；

所述第一下叉指电极(441)设于所述所述第二总线(42)的第一端，且所述第一下叉指电极(441)的形状和所述第二下叉指电极(442)的形状为具有开口的圆环，所述第一下叉指电极(441)的开口和所述第二下叉指电极(442)的开口形成放置所述第一总线(41)的通道；

所述第二下叉指电极(442)的直径大于所述第一下叉指电极(441)的直径，且所述第一下叉指电极(441)位于所述第二下叉指电极(442)内；

所述第一下叉指电极(441)位于所述第一上叉指电极(431)和第二上叉指电极(432)之间；

所述第一上叉指电极(431)、所述第二上叉指电极(432)、所述第一下叉指电极(441)和所述第二下叉指电极(442)共圆心。

4.根据权利要求2所述的兰姆波器件，其特征在于，所述压电薄膜(3)的厚度小于0.5p，所述p为相邻的所述上叉指电极与所述下叉指电极之间的距离。

5.根据权利要求1所述的兰姆波器件，其特征在于，所述压电薄膜(3)的晶体切型为Z切；

所述压电薄膜(3)的材料包括铌酸锂或者钽酸锂。

6.根据权利要求1所述的兰姆波器件，其特征在于，所述压电薄膜(3)上设有间隔设置的两个凹槽(8)，一个所述凹槽(8)内设有所述第一叉指电极(43)；另一个所述凹槽(8)内设有所述第二叉指电极(44)。

7.根据权利要求1所述的兰姆波器件，其特征在于，还包括介质层；

所述介质层位于所述衬底与所述压电薄膜(3)之间，或者，所述介质层位于所述叉指电极结构(4)上。

8.根据权利要求4所述的兰姆波器件，其特征在于，所述第一叉指电极(43)的金属化率小于35％，和/或，所述第二叉指电极(44)的金属化率小于35％。