[发明专利]固定装置、扫描电镜和电子束曝光机

权利要求书

1.一种固定装置，所述固定装置适于将背散射电子探测器固定于电子光学系统，其特征在于，所述固定装置包括：

固定托板，具有所述背散射电子探测器的容纳部，所述容纳部的中部设置有所述电子光学系统的电子束的通过孔，所述通过孔的尺寸与所述电子光学系统的极靴孔匹配；

托板支柱，具有第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述固定托板相连接，所述第二连接端适于与所述电子光学系统的物镜相连，使得所述固定托板的上表面与所述电子光学系统的物镜的极靴的底部贴合，且所述通过孔与所述极靴孔对准；

其中，所述固定托板和所述托板支柱为导电材料，以使得所述固定装置固定于所述电子光学系统之后，所述固定装置与所述电子光学系统处于同一电位。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述容纳部具有多个用于使背散射电子通过的孔，所述孔形成栅格结构，以滤除多余电子。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述用于使背散射电子通过的孔的数量为4。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述固定托板中心还有一个凸出部，所述通过孔位于所述凸出部的中心。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述托板支柱与所述固定托板螺纹连接，所述固定托板与所述背散射电子探测器螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述固定托板的厚度小于或等于3.8mm。

7.一种扫描电镜，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的固定装置。

8.一种电子束曝光机，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的固定装置。