[发明专利]固定装置、扫描电镜和电子束曝光机

说明书

本申请提供了一种固定装置、一种扫描电镜以及一种电子束曝光机。本申请所提供的固定装置直接固定于电子光学系统下，使用时无需调节位置，因此无需预留调节位置所需的垂直空间。由于减小了背散射探测器占用的垂直空间，电子光学系统与样品台之间的工作距离可以足够近以满足高精度观测的需求。

技术领域

本申请涉及电子光学技术领域，具体涉及一种固定装置、一种扫描电镜和一种电子束曝光机。

背景技术

扫描电镜及电子束曝光机都属于电子光学类仪器。扫描电镜和电子束曝光机常使用背散射电子探测器进行样品表面形貌的观察和对样品成分进行分析。

常用的背散射电子探测器固定于伸缩杆上，由伸缩杆从样品仓旁侧探入电子光学系统下方。电子光学系统中的物镜极靴较为脆弱，如果与背散射电子探测器发生碰撞，可能被损伤。因此，在电子光学系统与样品台之间，需要预留伸缩杆能够自由工作的空间。然而，高精度观测时需要电子光学系统与样品台距离非常近，现有的通过伸缩杆从旁侧探入的方式无法满足要求。

因此，亟待寻找一种新的背散射电子探测器的固定方式，以满足电子光学类装置高精度观测时所需的最佳工作距离。

发明内容

有鉴于此，本申请提供一种背散射电子探测器的固定装置，以解决现有技术中通过伸缩杆固定背散射电子探测器，为了保证伸缩杆正常工作，而无法满足高精度观测时所需的超近工作距离的问题。

第一方面，提供一种固定装置，该固定装置适于将背散射电子探测器固定于电子光学系统。所述固定装置包括：固定托板，具有所述背散射电子探测器的容纳部。容纳部的中部设置有电子光学系统的电子束的通过孔，通过孔的尺寸与电子光学系统的极靴孔匹配。托板支柱，具有第一连接端和第二连接端。第一连接端与固定托板相连连接，第二连接端适于与电子光学系统的物镜相连。固定托板通过托板支柱连接于电子光学系统下方时，固定托板的上表面与电子光学系统的物镜的极靴的底部贴合，且通过孔与极靴孔对准。其中，固定托板和托板支柱为导电材料，以使得固定装置固定于电子光学系统之后，固定装置与电子光学系统处于同一电位。

在一些实施例中，容纳部具有多个用于使背散射电子通过的孔，孔形成栅格结构，以滤除多余电子。

在一些实施例中，用于使背散射电子通过的孔的数量为4。

在一些实施例中，固定托板中心还有一个凸出部，通过孔位于凸出部的中心。

在一些实施例中，托板支柱与固定托板螺纹连接，固定托板与背散射电子探测器螺纹连接。

在一些实施例中，固定托板的整体厚度小于或等于3.8mm。

第二方面，提供一种扫描电镜，包括前述的固定装置。

第三方面，提供一种电子束曝光机，包括前述的固定装置。

本申请所提供的固定装置直接固定于电子光学系统下，使用时无需调节位置，因此无需预留调节位置所需的垂直空间。由于减小了背散射探测器占用的垂直空间，电子光学系统与样品台之间的工作距离可以足够近以满足高精度观测的需求。

附图说明

图1所示为本申请一实施例提供的固定装置的结构示意图。

图2所示为图1所示固定装置的底面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。