[发明专利]一种掩膜板结构及其制备方法

权利要求书

1.一种掩膜板结构，其包括掩膜板主体，所述的掩膜板主体上嵌设有金属部件，其特征在于：所述掩膜板主体采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主体上对应各金属部件分别设有安装槽，安装槽至少一端为敞口，所述金属部件的横截面形状与安装槽的横截面形状相适配且均为上小下大的形状，金属部件由安装槽的敞口滑入并嵌设于安装槽内，且金属部件连接有限制其在安装槽内横移的限位件。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板结构，其特征在于：所述限位件为限位螺丝，所述金属部件的侧部上开有限位螺纹孔，所述掩膜板主体对应限位螺纹孔位置设有同轴设置的通孔，所述限位螺丝穿过掩膜板主体上的通孔后与金属部件上的限位螺纹孔螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜板结构，其特征在于：所述金属部件由Invar36材质成型。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜板结构，其特征在于：所述金属部件位于安装槽敞口的一端面上开有螺纹抽拉孔，该螺纹抽拉孔用于与抽拉工具螺纹连接，以将金属部件从对应的安装槽中取出。

5.采用权利要求1-4任一项所述的一种掩膜板结构的制备方法，其特征在于：其包括以下步骤：

1）根据设计要求，采用陶瓷或大理石制造掩膜板主体；

2）根据设计要求，采用Invar36制造金属部件；

3）根据金属部件的形状与构造，在掩膜板主体上进行开槽，得到用于安装金属部件的安装槽，同时在掩膜板主体上钻出限位件穿过的通孔；

4）在金属部件上钻出限位螺纹孔和螺纹抽拉孔；

5）将金属部件安装入掩膜板主体对应的安装槽中，然后用限位件锁紧固定。