[发明专利]一种掩膜板结构及其制备方法

说明书

本发明公开一种掩膜板结构及其制备方法，其包括掩膜板主体，所述的掩膜板主体上嵌设有金属部件，所述掩膜板主体采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主体上对应各金属部件分别设有安装槽，安装槽至少一端为敞口，所述金属部件的横截面形状与安装槽的横截面形状相适配且均为上小下大的形状，金属部件由安装槽的敞口滑入并嵌设于安装槽内，且金属部件连接有限制其在安装槽内横移的限位件。本发明能够提高金属掩膜板的抗形变能力并确保开孔位置的精度。

技术领域

本发明涉及掩膜板领域，尤其涉及一种掩膜板结构及其制备方法。

背景技术

OLED显示面板具有厚度薄，功耗低，可弯曲及柔性显示等优势，近年来成为下一代面板显示器的发展趋势。

现有的 OLED面板是在真空环境下利用蒸发源将有机材料加热后蒸发，有机材料透过金属掩膜板上开孔位置定义玻璃上形成薄膜位置，成膜位置需是基板上被指定的发光位置，基板的电流才能有效传入OLED器件发光，所以金属掩膜板开孔位置的精度极为重要。而金属掩膜板上开孔位置的精准度（一般手机屏幕的位置精度为＋/- 3μm），主要取决于金属掩膜板的组装精度和金属掩膜片（一般一块掩膜板由6～8掩膜板片组成）的开孔精度。金属掩膜板组装时需要经历“上掩膜板框/上掩膜片/拉伸膜片/对位/将掩膜片焊于掩膜板框”的重复动作，将金属掩膜片一片一片组装上；但当将拉伸的掩膜片被焊于掩膜板框时同时也发生拉力被转移至金属掩膜板框上的情况，亦导致金属掩膜板框受力形变，从而导致金属掩膜板片上开孔位置向金属掩膜框的中心位置偏移，因此，如何解决金属掩膜框的受力形变是OLED金属掩膜板张网的难题。

一般金属掩膜框材质为Invar36，采用该材质主要是因为其具有低热膨胀系数，在蒸镀工艺过程中，张网后的金属掩膜板不会受温度影响导致膨胀，从而保证了开孔位置的精度，且金属材质便于金属掩膜片与金属掩膜框之间的焊接，保证其牢固性，但Invar36也有其缺点，该材质强度较小，易受力影响产生形变。

发明内容

为了克服现有技术中的不足之处，本发明提出一种能够提高金属掩膜板的抗形变能力并确保开孔位置的精度的掩膜板结构及其制备方法。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种掩膜板结构，其包括掩膜板主体，所述的掩膜板主体上嵌设有金属部件，所述掩膜板主体采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主体上对应各金属部件分别设有安装槽，安装槽至少一端为敞口，所述金属部件的横截面形状与安装槽的横截面形状相适配且均为上小下大的形状，金属部件由安装槽的敞口滑入并嵌设于安装槽内，且金属部件连接有限制其在安装槽内横移的限位件。

进一步的，所述限位件为限位螺丝，所述金属部件的侧部上开有限位螺纹孔，所述掩膜板主体对应限位螺纹孔位置设有同轴设置的通孔，所述限位螺丝穿过掩膜板主体上的通孔后与金属部件上的限位螺纹孔螺纹连接。

进一步的，所述金属部件由Invar36材质成型。

进一步的，所述金属部件位于安装槽敞口的一端面上开有螺纹抽拉孔，该螺纹抽拉孔用于与抽拉工具螺纹连接，以将金属部件从对应的安装槽中取出。

本发明一种掩膜板结构的制备方法，其包括以下步骤：

1）根据设计要求，采用陶瓷或大理石制造掩膜板主体；

2）根据设计要求，采用Invar36制造金属部件；

3）根据金属部件的形状与构造，在掩膜板主体上进行开槽，得到用于安装金属部件的安装槽，同时在掩膜板主体上钻出限位件穿过的通孔；

4）在金属部件上钻出限位螺纹孔和螺纹抽拉孔；

5）将金属部件安装入掩膜板主体对应的安装槽中，然后用限位件锁紧固定。

本发明采用以上技术方案，具有以下技术效果：