[发明专利]一种光刻机对接接口模块的调节装置

权利要求书

1.一种光刻机对接接口模块的调节装置，其特征在于，包括升降结构(1)，所述升降结构(1)设立有顶柱(11)，所述顶柱(11)的顶部侧壁固定连接有顶板(2)，所述顶板(2)远离顶柱(11)的一侧侧壁四角处均设立有调节装置(3)，所述调节装置(3)内设立有从动柱(33)，所述调节装置(3)上转动连接有旋钮(32)，所述从动柱(33)顶部转动连接有对接板(4)，所述对接板(4)相邻的两侧侧壁中间均固定连接有管状水准仪(5)，所述对接板(4)的两侧分别设立有显影机(6)和光刻机(7)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机对接接口模块的调节装置，其特征在于：所述顶柱(11)内部设立有顶槽(14)，所述顶槽(14)内顶部侧壁中间通过螺丝拆卸连接有伸缩杆(15)，所述伸缩杆(15)的输出端通过螺丝拆卸连接有活动柱(12)，所述活动柱(12)的顶端伸缩活动连接在顶槽(14)内，所述升降结构(1)设立有四个且分别固定连接在顶板(2)的底部侧壁四角处，所述活动柱(12)远离顶柱(11)的一端固定连接有滚轮(13)。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机对接接口模块的调节装置，其特征在于：所述调节装置(3)设立有四个，所述调节装置(3)包括底柱(31)，所述底柱(31)固定连接在顶板(2)顶部侧壁四角处，所述从动柱(33)顶端内转动连接有转珠(36)，所述转珠(36)为圆形结构，所述转珠(36)转动连接在对接板(4)的底部四角处，所述旋钮(32)设立在底柱(31)顶部侧壁上，所述底柱(31)顶端侧壁内开设有转槽(34)，所述转槽(34)内转动连接有转柱(35)，所述转柱(35)位于转槽(34)内的一端转动连接有滚动柱。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机对接接口模块的调节装置，其特征在于：所述从动柱(33)螺纹连接在旋钮(32)内，所述底柱(31)内部中间开设有底槽(37)，所述从动柱(33)的一端延伸进底槽(37)内，所述底槽(37)内底部侧壁固定连接有两个限位柱，所述从动柱(33)通过底端与限位柱滑动连接。

5.根据权利要求3所述的一种光刻机对接接口模块的调节装置，其特征在于：所述转柱(35)为环形结构，且滚动柱的一侧与转槽(34)内底部侧壁接触，所述转柱(35)通过顶部侧壁固定连接在旋钮(32)的底部侧壁。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机对接接口模块的调节装置，其特征在于：所述对接板(4)的顶部侧壁与显影机(6)和光刻机(7)的工作区处于同一水平高度，所述管状水准仪(5)为液体水平仪，所述管状水准仪(5)通过固定板与对接板(4)的侧壁连接。

7.根据权利要求2所述的一种光刻机对接接口模块的调节装置，其特征在于：所述滚轮(13)为带有刹车结构的静音轮，所述顶柱(11)和活动柱(12)均为矩形结构。