[发明专利]一种光刻机对接接口模块的调节装置

说明书

本发明公开了一种光刻机对接接口模块的调节装置，包括升降结构，升降结构设立有顶柱，顶柱的顶部侧壁固定连接有顶板，顶板远离顶柱的一侧侧壁四角处均设立有调节装置，调节装置内设立有从动柱，调节装置上转动连接有旋钮，从动柱顶部转动连接有对接板，对接板相邻的两侧侧壁中间均固定连接有管状水准仪，对接板的两侧分别设立有显影机和光刻机，本发明的有益效果：通过固定连接在对接板两侧侧壁上的管状水准仪，能够对对接板的水平度进行有效的调节整，不仅使调整的更加快捷，且精度更准确，通过旋钮的转动能够使其与从动柱产生螺纹连接的特性，从而使从动柱能够进行升降操作，设立有限位柱，能够使从动柱升降的更加稳定。

技术领域：

本发明属于一种光刻机接口模块相关结构技术领域，特别涉及一种光刻机对接接口模块的调节装置。

背景技术：

光刻机是通过曝光将精细的图形印刻在硅片上，使现在硅片生产必要的设备之一，在光刻机印刻结束后需要将硅片输送至现影装置上进行现影操作，一般光刻机都是通过接口模块将硅片从光刻机送进现影机上的。

现在的接口模块的水平调节比较繁琐，且没有对应检测设备，导致水平的调节不够便捷，精准度也会下降，其次对现在接口模块自身水平高度的调节也比较麻烦，导致接口模块自身的实用性较低，且应用灵活性较差。

发明内容：

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光刻机对接接口模块的调节装置，通过升降结构和调节装置，能够有效的解决上述的现在的接口模块的水平调节比较繁琐，且没有对应检测设备，导致水平的调节不够便捷，精准度也会下降，其次对现在接口模块自身水平高度的调节也比较麻烦，导致接口模块自身的实用性较低，且应用灵活性较差的技术问题。

为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：一种光刻机对接接口模块的调节装置，包括升降结构，所述升降结构设立有顶柱，所述顶柱的顶部侧壁固定连接有顶板，所述顶板远离顶柱的一侧侧壁四角处均设立有调节装置，所述调节装置内设立有从动柱，所述调节装置上转动连接有旋钮，所述从动柱顶部转动连接有对接板，所述对接板相邻的两侧侧壁中间均固定连接有管状水准仪，所述对接板的两侧分别设立有显影机和光刻机。

作为优选，所述顶柱内部设立有顶槽，所述顶槽内顶部侧壁中间通过螺丝拆卸连接有伸缩杆，所述伸缩杆的输出端通过螺丝拆卸连接有活动柱，所述活动柱的顶端伸缩活动连接在顶槽内，所述升降结构设立有四个且分别固定连接在顶板的底部侧壁四角处，所述活动柱远离顶柱的一端固定连接有滚轮。

作为优选，所述调节装置设立有四个，所述调节装置包括底柱，所述底柱固定连接在顶板顶部侧壁四角处，所述从动柱顶端内转动连接有转珠，所述转珠为圆形结构，所述转珠转动连接在对接板的底部四角处，所述旋钮设立在底柱顶部侧壁上，所述底柱顶端侧壁内开设有转槽，所述转槽内转动连接有转柱，所述转柱位于转槽内的一端转动连接有滚动柱。

作为优选，所述从动柱螺纹连接在旋钮内，所述底柱内部中间开设有底槽，所述从动柱的一端延伸进底槽内，所述底槽内底部侧壁固定连接有两个限位柱，所述从动柱通过底端与限位柱滑动连接。

作为优选，所述转柱为环形结构，且滚动柱的一侧与转槽内底部侧壁接触，所述转柱通过顶部侧壁固定连接在旋钮的底部侧壁。

作为优选，所述对接板的顶部侧壁与显影机和光刻机的工作区处于同一水平高度，所述管状水准仪为液体水平仪，所述管状水准仪通过固定板与对接板的侧壁连接。

作为优选，所述滚轮为带有刹车结构的静音轮，所述顶柱和活动柱均为矩形结构。