[发明专利]套刻误差的补偿方法、补偿装置、光刻机及存储介质

权利要求书

1.一种套刻误差的补偿方法，晶圆上设置有N个对准记号，N为大于1的整数，其特征在于，所述补偿方法包括：

从N个所述对准记号中，确定M个待插值记号组，M为大于零的整数，所述待插值记号组包括至少两个对准记号；

获取N个所述对准记号的套刻误差；

对于第i个所述待插值记号组，第i个所述待插值记号组为M个所述待插值记号组中的任一所述待插值记号组，根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差；

根据N个所述对准记号的套刻误差和M个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差，对所述晶圆进行误差补偿。

2.如权利要求1所述的补偿方法，其特征在于，所述对准记号的套刻误差包括所述对准记号的套刻误差的X分量和Y分量，套刻误差的X分量是指套刻误差在水平方向的分量，套刻误差的Y分量是指套刻误差在垂直方向的分量；根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差包括：

根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差的X分量，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的X分量；

根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差的Y分量，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的Y分量；

根据第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的X分量和Y分量，确定所述第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差。

3.如权利要求2所述的补偿方法，其特征在于，在根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差之前，还包括：

获取第i个所述待插值记号组中的所有对准记号分别与对应的插值点的距离；

根据第i个所述待插值记号组中的第j个对准记号与对应的插值点的距离，确定第i个所述待插值记号组中的第j个对准记号对应的权重，第i个所述待插值记号组中的第j个对准记号对应的权重与第j个对准记号与对应的插值点的距离成反比，第i个所述待插值记号组中的第j个对准记号为第i个所述待插值记号组中的所有对准记号中的任一对准记号；

所述根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差的X分量，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的X分量包括：

根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差的X分量和对应的权重，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的X分量；

所述根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差的Y分量，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的Y分量包括：

根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差的Y分量和对应的权重，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的Y分量。

4.如权利要求3所述的补偿方法，其特征在于，所述根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差的X分量和对应的权重，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的X分量包括：

根据第一公式，计算第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的X分量；

其中，所述第一公式为Ax表示第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的X分量，q_j表示第i个所述待插值记号组中的第j个对准记号对应的权重，V_jx表示第i个所述待插值记号组中的第j个对准记号的套刻误差的X分量，H表示第i个所述待插值记号组中对准记号的总数量；

所述根据第i个所述待插值记号组中的所有对准记号的套刻误差的Y分量和对应的权重，确定第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的Y分量包括：

根据第二公式，计算第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的Y分量；

其中，所述第二公式为Ay表示第i个所述待插值记号组对应的插值点的套刻误差的Y分量，V_jy表示第i个所述待插值记号组中的第j个对准记号的套刻误差的Y分量。