[发明专利]一种紧凑型精密的四维调整平台

说明书

本发明提供一种紧凑型精密的四维调整平台，其包括水平位移台、升降台、旋转台和角位移台，水平位移台、升降台、旋转台和角位移台自下而上依次设置，升降台连接于水平位移台的移动端，旋转台连接于升降台的升降端，角位移台连接于旋转台的转动端，以供水平位移台、升降台、旋转台和角位移台组合后完成四个维度的调整，升降端沿竖直方向开设有转动槽，转动端插设于转动槽并通过轴承组与转动槽内壁转动连接，以供升降台和旋转台之间紧密相连并降低四维调整平台的整体高度。本发明的四位调整平台将多个调整台合理搭配组装，结构紧凑，各调整维度结构件集成度高，可以有效减少整体设备高度。

技术领域

本发明涉及调整平台技术领域，尤其涉及一种紧凑型精密的四维调整平台。

背景技术

光学芯片测试，要保证测试结果的一致性，对测试载台的几何尺寸有极高的精度要求，测试载台精度如完全依靠机加工保证，难度很大，成本也昂贵，通常做法是给测试载台配置多个维度的微调整平台，设备调试时通过多个维度的微调整来实现最终测试载台要求的精度。

例如，专利CN201773602U，其提供了一种仪器安装用四维调整平台，就是组合2个直线平移台和2个角位移台，来实现四个维度的微调整。

目前有多种规格的标准平移台，升降台，旋转调整台，角位移台，其根据需要，可以组合处四维调整平台，最多可组合出六维调整平台，可以实现测试台快捷调整，组合形式灵活多变，但是，现在大多数的四维调整平台类似于上述专利，多个调整台独立放置，零件不集成，组合起来后设备整体高度较高，使用不方便。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种紧凑型精密的四维调整平台，解决现有技术中多调整平台组合后整体设备高度较高的技术问题。

为达到上述技术目的，本发明的技术方案提供一种紧凑型精密的四维调整平台，其包括水平位移台、升降台、旋转台和角位移台，所述水平位移台、所述升降台、所述旋转台和所述角位移台自下而上依次设置，所述升降台连接于所述水平位移台的移动端，所述旋转台连接于所述升降台的升降端，所述角位移台连接于所述旋转台的转动端，所述升降端沿竖直方向开设有转动槽，所述转动端插设于所述转动槽并通过轴承组与所述转动槽内壁转动连接，以供所述升降台和所述旋转台之间紧密相连并降低四维调整平台的整体高度。

进一步的，还包括底板，所述底板上设置有导轨，所述水平位移台滑动连接于所述导轨。

进一步的，所述水平位移台，包括滑台、推块一、固定块一及螺旋微分头一，所述滑台滑动连接于所述导轨，所述推块一固定于所述滑台的一侧，所述固定块一连接于所述底板且相对所述推块一设置，所述螺旋微分头一转动连接于所述固定块一且其一端抵接于所述推块一，经所述螺旋微分头一的另一端可驱使所述滑台移动。

进一步的，所述升降台包括基座、升降调整台及用于驱使升降调整台升降的细牙螺纹副一，所述基座连接于所述滑台并沿竖直方向开设有滑槽，所述升降调整台滑动连接于所述滑槽且沿竖直方向开设有贯穿所述升降调整台的转动槽，所述细牙螺纹副一的螺钉转动连接于所述升降调整台并连接至所述滑台。

进一步的，所述旋转台包括旋转调整台、转动件、推块二、固定块二及用于驱使旋转调整台转动的螺旋微分头二，所述转动件的一端连接于所述旋转调整台、另一端插设于所述转动槽并与所述转动槽转动连接，所述推块二连接于所述旋转调整台，所述固定块二连接于所述基座且相对所述推块二设置，所述螺旋微分头二转动连接于所述固定块二且其一端可抵接于所述推块二，经所述螺旋微分头二的另一端可驱使所述旋转调整台转动。

进一步的，所述角位移台包括角度调整台、钢珠、拉簧及用于驱使角度调整台转动的细牙螺纹副二，所述角度调整台通过所述钢珠和所述拉簧连接于所述旋转调整台，所述细牙螺纹副二的螺钉转动连接于所述角度调整台并连接至所述旋转调整台。