[发明专利]一种钼钛靶坯的制备工艺

权利要求书

1.一种钼钛靶坯的制备工艺，其特征在于，所述制备工艺包括如下步骤：

(1)将钼粉和钛粉混合得到混粉料，将所述混粉料进行冷等静压得到压坯；

(2)将所述压坯进行脱氢处理，得到脱氢压坯；

(3)将所述脱氢压坯进行包套脱气处理和热等静压处理，处理后的样品经过机加工得到钼钛靶坯。

2.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，步骤(1)所述钼粉和钛粉的混料比为(5-9):1，优选为(5.2-8.8):1；

优选地，步骤(1)所述混合的操作方式包括机械混合；

优选地，步骤(1)所述混合加入保护气；

优选地，所述保护气包括氩气；

优选地，所述保护气的纯度为≥5N，优选为5N；

优选地，所述混合的压力为0.03-0.06MPa，优选为0.035-0.055MPa；

优选地，步骤(1)所述混合的时间为24-48小时，优选为30-42小时。

3.根据权利要求1或2所述的制备工艺，其特征在于，步骤(1)所述钼粉的钼含量为≥99.5％，优选为99.5％；

优选地，步骤(1)所述钛粉的钛含量为≥99.5％，优选为99.5％；

优选地，步骤(1)所述钛粉的氢含量为≤300ppm，优选为≤200ppm；

优选地，步骤(1)所述钛粉的粒度为30-60μm，优选为35-55μm；

优选地，步骤(1)所述钼粉的粒度为8-20μm，优选为10-15μm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备工艺，其特征在于，步骤(1)所述冷等静压的升压方式包括依次进行的一次升压和二次升压；

优选地，所述一次升压的压制压力为120-140MPa，优选为125-135MPa；

优选地，所述一次升压的压制时间为5-10分钟，优选为6-8分钟；

优选地，所述二次升压的压制压力为140-160MPa，优选为145-155MPa；

优选地，所述二次升压的压制时间为10-20分钟，优选为14-17分钟；

优选地，所述二次升压的压制压力大于所述一次升压的压制压力。

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备工艺，其特征在于，步骤(1)所述混粉料放入冷等静压模具中进行冷等静压；

优选地，所述冷等静压模具的材质包括橡胶或塑料；

优选地，所述混粉料放入冷等静压模具中压实；

优选地，所述压实后的混粉料密度为5-8g/cm³，优选为6-7g/cm³。

6.根据权利要求1-5任一项所述的制备工艺，其特征在于，步骤(2)所述脱氢处理在容器中进行；

优选地，所述容器包括真空炉；

优选地，步骤(2)所述脱氢处理在氩气气氛下进行；

优选地，所述氩气的纯度为≥4N，优选为4N；

优选地，步骤(2)所述脱氢处理的温度为900-1200℃，优选为1000-1100℃；

优选地，步骤(2)所述脱氢处理的时间为60-150分钟，优选为90-120分钟；

优选地，步骤(2)所述脱氢处理的压力为0.01-0.02MPa，优选为0.013-0.015MPa。

7.根据权利要求1-6任一项所述的制备工艺，其特征在于，步骤(3)所述包套脱气处理包括将所述脱氢压坯放置于包套中；

优选地，所述包套的材质包括碳钢或不锈钢。