[发明专利]一种CuNi-Al-Mo蚀刻液在审
| 申请号： | 202111000708.3 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113774382A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王雪刚;凌丽靖;罗志华 | 申请（专利权）人： | 漳州思美科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 363118 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cuni al mo 蚀刻 | ||
1.一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于包含：硝酸、硫酸、有机酸、硝酸盐化合物和助剂；其中，按重量百分比计，硝酸的含量为2wt％，硫酸的含量为12wt％，有机酸的含量为25wt％-40wt％，硝酸盐化合物的含量为1.8wt％-3.2wt％，助剂的含量为0.05wt％-0.3wt％，其余为水。
2.如权利要求1所述的一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于：所述有机酸为选自乙酸、柠檬酸、戊酸、丙二酸、乙醇酸、琥珀酸、丙酸、甲烷磺酸及它们的盐的一种或两种以上。
3.如权利要求1所述的一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于：所述硝酸盐化合物为选自硝酸钾、硝酸钠、硝酸钙、硝酸铵、硝酸铝和硝酸镁的一种或两种以上。
4.如权利要求1所述的一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于：所述硝酸盐选自钠盐和钾盐中的一种或多种。
5.如权利要求1所述的一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于：所述硝酸盐采用硝酸钠。
6.如权利要求1所述的一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于：所述硝酸盐的含量为1.5-2wt％。
7.如权利要求1所述的一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于：所述助剂为选自氨基三亚甲基膦酸、2-羟基膦酰基乙酸、乙二胺四甲叉膦酸、苯并三氮唑钠、苯并三氮唑和葡萄糖酸钠的一种或两种以上。
8.如权利要求1所述的一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于：所述助剂的含量为0.15-0.25wt％。
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