[发明专利]一种MOCVD设备尾气处理装置

权利要求书

1.一种MOCVD设备尾气处理装置，其特征在于：包括车架、设置在车架上的第一滤筒和第二滤筒、连接第一滤筒和第二滤筒的进气单元以及设置在第一滤筒和第二滤筒之间的出气单元，所述第一滤筒和第二滤筒内均设置有滤芯，所述进气单元包括进气三通，所述进气三通的两端分别通过法兰与第一滤筒和第二滤筒内滤芯连通，所述进气三通的中部设置有进气口，所述进气口连接大小头进气法兰，所述出气单元包括出气管，所述出气管连接真空泵。

2.根据权利要求1所述的一种MOCVD设备尾气处理装置，其特征在于：所述第一滤筒和第二滤筒均包括筒体以及与筒体螺纹密封连接的盖板。

3.根据权利要求2所述的一种MOCVD设备尾气处理装置，其特征在于：所述滤芯为带有内腔的圆柱体状，所述滤芯的端部设置有十字形撑架，所述十字形撑架的端部能够与筒体的内壁抵接。

4.根据权利要求3所述的一种MOCVD设备尾气处理装置，其特征在于：所述滤芯的端部还设置有能够与盖板抵接的把手。

5.根据权利要求4所述的一种MOCVD设备尾气处理装置，其特征在于：所述滤芯上相对把手的一端设置有能够与筒体抵接的密封圈。

6.根据权利要求1或4所述的一种MOCVD设备尾气处理装置，其特征在于：所述车架的底部设置有移动轮。