[发明专利]一种MOCVD设备尾气处理装置

说明书

本发明公开了一种MOCVD设备尾气处理装置。本发明的技术方案是：包括车架、设置在车架上的第一滤筒和第二滤筒、连接第一滤筒和第二滤筒的进气单元以及设置在第一滤筒和第二滤筒之间的出气单元，所述第一滤筒和第二滤筒内均设置有滤芯，所述进气单元包括进气三通，所述进气三通的两端分别通过法兰与第一滤筒和第二滤筒内滤芯连通，所述进气三通的中部设置有进气口，所述进气口连接大小头进气法兰，所述出气单元包括出气管，所述出气管连接真空泵。本发明提供的方案使用寿命长且。

技术领域

本发明涉及涉及金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备领域。

背景技术

金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备，用Ⅲ族元素的有机化合物和Ⅴ族元素的氢化物作为晶体生长原料，以热分解方式进行气相外延生长。例如，三甲基镓Ga（CH3）与砷烷AsH3反应，Ga（CH3）3+AsH3=GaAs+3CH4，其反应产物砷化镓GaAs，部分被泵抽走，该砷化镓为黑色粉末，对人体具有毒性，同时日积月累也回导致真空泵的堵塞卡死。

针对MOCVD的设备尾气处理装置现有技术多使用单独过滤筒，该过滤筒容积小，使用时间周期受限，维护周期短，拉低了MOCVD主设备整体稼动率Uptime。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的主要目的在于提供一种使用寿命长且过滤效果好的MOCVD设备尾气处理装置。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种MOCVD设备尾气处理装置，包括车架、设置在车架上的第一滤筒和第二滤筒、连接第一滤筒和第二滤筒的进气单元以及设置在第一滤筒和第二滤筒之间的出气单元，所述第一滤筒和第二滤筒内均设置有滤芯，所述进气单元包括进气三通，所述进气三通的两端分别通过法兰与第一滤筒和第二滤筒内滤芯连通，所述进气三通的中部设置有进气口，所述进气口连接大小头进气法兰，所述出气单元包括出气管，所述出气管连接真空泵。

优选的，所述第一滤筒和第二滤筒均包括筒体以及与筒体螺纹密封连接的盖板。

优选的，所述滤芯为带有内腔的圆柱体状，所述滤芯的端部设置有十字形撑架，所述十字形撑架的端部能够与筒体的内壁抵接。

优选的，所述滤芯的端部还设置有能够与盖板抵接的把手。

优选的，所述滤芯上相对把手的一端设置有能够与筒体抵接的密封圈。

优选的，所述车架的底部设置有移动轮。

本发明相对于现有技术具有如下优点，使用两个筒体并列设置在车架上，使原来1个滤筒，增加为2个滤筒。同时双筒并联进气口采用锥形大小头即大小头进气法兰的形式，设备原来管道气流经过此接口，会形成湍流加速进入过滤器，不容易在入口处堵塞。滤芯使用内滤结构，滤芯内腔带有密封圈，尾气由内层向外层过滤，材质为耐高温滤纸或玻璃纤维。通过以上结构，过滤效果增强，使用寿命为单筒的2倍以上。同时滤芯带有手柄和十字形撑架。呈整体式下沉托起结构，方便筒体运输及对接管道的安装定位。

附图说明

图1为本发明的一种MOCVD设备尾气处理装置的整体结构示意图；

图2为本发明的一种MOCVD设备尾气处理装置的正视图；

图3为图2中A-A部分的剖视图；

图4为本发明的一种MOCVD设备尾气处理装置的滤芯的结构示意图一；

图5为本发明的一种MOCVD设备尾气处理装置的滤芯的结构示意图二。

图中：1、车架；2、第一滤筒；3、第二滤筒；4、进气单元；5、出气单元；6、滤芯；7、进气三通；8、进气口；9、大小头进气法兰；10、出气管；11、筒体；12、盖板；13、十字形撑架；14、把手；15、密封圈；16、移动轮。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。