[发明专利]一种石英透镜的移除方法

权利要求书

1.一种石英透镜的移除方法，所述石英透镜设置于一反应腔内，所述反应腔内还设置有光源，所述光源设置于所述石英透镜上方，其特征在于，包括：

将所述光源取出所述反应腔；

提供保护罩，所述保护罩为一端开口的腔体，所述保护罩的顶面具有贯穿的通孔，将所述保护罩盖在所述石英透镜上，所述通孔露出所述石英透镜的部分顶面；以及，

利用真空吸盘吸附所述石英透镜露出的顶面，以将所述石英透镜移出所述反应腔。

2.如权利要求1所述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，所述保护罩的顶面与侧面之间倒有圆角。

3.如权利要求1所述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，所述保护罩的材料为特氟龙。

4.如权利要求1所述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，所述保护罩的内壁上设置有第一弹性保护层。

5.如权利要求4述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，所述第一弹性保护层的材料为硅橡胶或氟化橡胶。

6.如权利要求1述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，将所述石英透镜取出后放置于一可移动的底座上。

7.如权利要求1所述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，将所述保护罩盖在所述石英透镜上之后，所述通孔的中心轴与所述石英透镜的中心轴重合。

8.如权利要求1所述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，所述保护罩的内径为295mm～305mm。

9.如权利要求1所述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，所述通孔的内径为170mm～230mm。

10.如权利要求1所述的一种石英透镜的移除方法，其特征在于，所述反应腔为光增强型化学气相沉积设备中的反应腔，所述光源为紫外光源。