[发明专利]光电传感器及其制备方法在审
申请号: | 202111013598.4 | 申请日: | 2021-08-31 |
公开(公告)号: | CN113707633A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 孙塔;李碧洲 | 申请(专利权)人: | 艾普柯微电子(江苏)有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L25/16;H01L21/60;G01D5/26 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 张相钦 |
地址: | 214135 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电 传感器 及其 制备 方法 | ||
本发明涉及一种光电传感器及其制备方法。所述光电传感器,包括:电路转接板、感光芯片、导电粘合剂与发光件;感光芯片位于电路转接板上;其中感光芯片形成有感光区与非感光区;感光芯片包括第一衬底、第一焊盘与导电凸点,第一衬底位于电路转接板上,第一焊盘位于第一衬底背向电路转接板的一侧,导电凸点位于第一焊盘背向第一衬底的一侧;第一焊盘与导电凸点位于非感光区;导电粘合剂位于第一焊盘背向第一衬底的一侧,且包覆导电凸点;发光件位于导电粘合剂上,且位于导电粘合剂背向第一焊盘的一侧,发光件通过导电粘合剂、导电凸点、第一焊盘与感光芯片电连接。根据本发明的实施例,减小光电传感器的尺寸。
技术领域
本申请涉及传感器技术领域,特别涉及一种光电传感器及其制备方法。
背景技术
相关技术中,光电传感器包括电路转接板、发光芯片与感光芯片,发光芯片与感光芯片分别位于电路转接板上,发光芯片与感光芯片之间存在一定的距离。这种结构的光电传感器在产品尺寸缩减上有限,不能满足小型化的需求。
发明内容
本发明提供一种光电传感器及其制备方法,以解决相关技术中的不足。
根据本发明实施例的第一方面,提供一种光电传感器,包括:
电路转接板;
感光芯片,位于所述电路转接板上;其中,所述感光芯片形成有感光区与非感光区;所述感光芯片包括第一衬底、第一焊盘与导电凸点,所述第一衬底位于所述电路转接板上,所述第一焊盘位于所述第一衬底背向所述电路转接板的一侧,所述导电凸点位于所述第一焊盘背向所述第一衬底的一侧;所述第一焊盘与所述导电凸点位于所述非感光区;
导电粘合剂,位于所述第一焊盘背向所述第一衬底的一侧,且包覆所述导电凸点;
发光件,位于所述导电粘合剂上,且位于所述导电粘合剂背向所述第一焊盘的一侧,所述发光件通过所述导电粘合剂、所述导电凸点、所述第一焊盘与所述感光芯片电连接。
在一个实施例中,所述导电凸点为金属凸点。
在一个实施例中,所述导电凸点的材料为金。
在一个实施例中,所述导电凸点包括凸点结构与镀层,所述镀层包覆所述凸点结构,所述凸点结构的材料为铜,所述镀层的材料为金。
在一个实施例中,所述导电粘合剂为包括液态粘合剂与银颗粒的银浆。
在一个实施例中,所述第一焊盘的材料为铝或金或铜。
在一个实施例中,所述发光件包括第二衬底与第一电极,所述第一电极位于所述导电粘合剂与所述第二衬底之间;
所述第二衬底的材料为砷化镓。
在一个实施例中,所述光电传感器,还包括透明封装层,所述透明封装层位于所述电路转接板上,且包裹所述感光芯片、所述导电粘合剂与所述发光件。
根据本发明实施例的第二方面,提供一种光电传感器的制备方法,包括:
将感光芯片置于电路转接板上;其中,所述感光芯片形成有感光区与非感光区;所述感光芯片包括第一衬底、第一焊盘与导电凸点,所述第一衬底位于所述电路转接板上,所述第一焊盘位于所述第一衬底背向所述电路转接板的一侧,所述导电凸点位于所述第一焊盘背向所述第一衬底的一侧;所述第一焊盘与所述导电凸点位于所述非感光区;
在所述第一焊盘上滴注半液态的导电粘合剂,半液态的导电粘合剂位于所述第一焊盘背向所述第一衬底的一侧,且浸没所述导电凸点;
将发光件置于半液态的导电粘合剂上,并固化导电粘合剂,固化后的导电粘合剂包覆所述导电凸点,所述发光件位于所述导电粘合剂背向所述第一焊盘的一侧,所述发光件通过所述导电粘合剂、所述导电凸点、所述第一焊盘与所述感光芯片电连接。
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