[发明专利]一种光学检测装置、成像方法和智能双面检测系统在审
申请号: | 202111017180.0 | 申请日: | 2021-08-31 |
公开(公告)号: | CN113740260A | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 温延培;杨云仙;刘华雷;刘洋;曹葵康;徐一华 | 申请(专利权)人: | 苏州天准科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人: | 郭士磊 |
地址: | 215153 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学 检测 装置 成像 方法 智能 双面 系统 | ||
本发明提供了一种光学检测装置、成像方法和智能双面检测系统,属于半导体、线路板等板状器件的上料检测系统领域,装置包括图像采集模组、光源模组和移动载台,图像采集模组采用在XZ平面内受控移动的线扫相机进行图像采集,移动载台在Y轴方向受控的移动送料;图像采集模组与图像处理器电讯连接,通过图像处理算法对获取的图像进行尺寸和瑕疵的量检测。其中,光学检测装置结构简单紧凑,根据待测件的宽幅可调的模块化设置。光源模组采用带缝隙灯条,高度可调,便于针对不同厚度和宽幅的待测件提供稳定的光照环境;综上提高了检测准确度和效果,为线路板、硅片等需要双面检的板件提供了技术支撑,便于推广应用。
技术领域
本发明属于半导体、线路板等板状器件的上料检测系统领域,具体涉及一种光学检测装置、成像方法和智能双面检测系统。
背景技术
线路板(包括FPC及PCB的喷锡板、沉金板、镀金板、沉银板、沉锡板、OSP抗氧化板等)及硅片是目前电子、电气系统中广泛应用的器材,同时也是将电路原理实体化的重要材料。现有技术中,如线路板等板件物料或产品的生产包括多个工序,其中最重要的工位是对待测板件的板面进行光学量检测。现有的光学检测装置一般采用相机拍照方式,首先对应不同规格尺寸的待测件,需要设计不同的光学成像模组,不能模块化设计,提高了成本;其次,其光学环境不稳定,导致板件表面成像光学灰度值受影响,总体成像质量差,降低量检测准确度和效果。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种光学检测装置、成像方法和智能双面检测系统,其能解决上述问题。
一种光学检测装置,所述光学检测装置包括图像采集模组、光源模组和移动载台,所述图像采集模组、光源模组和移动载台自上而下布置,所述图像采集模组采用在XZ平面内受控移动的线扫相机进行图像采集,所述移动载台在Y轴方向受控的移动送料;所述图像采集模组与图像处理器电讯连接,通过图像处理算法对获取的图像进行尺寸和瑕疵的量检测。
进一步的,所述图像采集模组包括光学侧立柱、光学转接背板、光学X轴组件、光学Z轴组件和线扫相机,其中,两个所述光学侧立柱跨设在所述移动载台两侧,所述光学转接背板的两端固定至所两个所述光学侧立柱上,所述光学X轴组件横向固定至所述光学转接背板上,所述光学Z轴组件固定至所述光学X轴组件上,多个所述线扫相机并排的固定至所述光学Z轴组件上。
进一步的,所述光源模组包括光源支架、灯条和散热组件,在灯条的横向中间设有灯条间隙,在散热组件的横向中间设有与所述灯条间隙对齐的透光缝,其中所述灯条通过光源支架侧边的光源驱动件驱动以实现Z轴方向的微调。
进一步的,所述移动载台的驱动台采用电机丝杆驱动或直线电机驱动,载台采用真空吸附平台或夹爪平台,在驱动台的两端板处设置防撞件,在驱动台的两侧端设置光栅尺以测算载台在Y轴方向的位置和位移量。
本发明还提供了一种采用前述光学检测装置进行线扫成像的方法,方法包括:
S1、先将移动载台上的待测件沿着Y轴输送至光源模组正下方;
S2、微调定位线扫始点,先将待测件在Y轴向始点定位,再将图像采集模组的线扫相机在X轴向始点定位;
S3、调节检测光强,通过光源模组的光源驱动件驱动灯条的Z轴向高度实现亮度调节,同时图像采集模组在Z轴向调节线扫相机的高度实现定焦;
S4、线扫成像,线扫相机沿X轴开始线扫,完成一行后暂停,移动载台沿Y轴方向将待测件移送至下一位置,进行下一行线扫,如此重复直至完成整个待测件板面的图像采集;
S5、图像处理器接收步骤S4采集的待测件的图像并进行拼接,获取待测件的整个图像。
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