[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其特征在于，

该加工装置具有：

保持工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；

切削单元，其利用切削刀具对该保持工作台所保持的被加工物进行切削；

Z进给单元，其使该切削单元沿与该保持面垂直的Z方向移动；

设置单元，其具有隔开供该切削刀具侵入的宽度而设置的发光部和受光部，该设置单元根据该受光部所接受的光来检测该切削刀具的前端位置；

校正单元，其检测该保持面的Z方向的位置，并将该设置单元所检测的该切削刀具的前端位置与该保持面的Z方向的差存储为校正值；

温度测量器，其设置在该加工装置内，对温度进行测量；

拍摄单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行拍摄；以及

控制部，其对各单元进行驱动，

在从任意的时刻起该温度测量器所测量的温度的变动量超过了阈值的情况下，该控制部使利用该校正单元检测该保持面的高度并进行该校正值的更新的动作和该设置单元所进行的对该切削刀具的前端位置的检测再次进行。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

该校正单元使该切削单元沿Z方向移动，将检测到与该保持工作台的电导通时的该切削单元的Z方向的位置检测为该保持面的高度。

3.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

该校正单元将使该拍摄单元的焦点对准该保持面时的该拍摄单元的Z方向的高度存储为该保持面的高度。