[发明专利]电极布置、用于电极布置的接触组件、带电粒子束装置和减小电极布置中的电场强度的方法

权利要求书

1.一种用于作用在带电粒子束上的电极布置，包括：

第一电极，所述第一电极具有用于所述带电粒子束的第一开口；

第一间隔件元件，所述第一间隔件元件定位在设于所述第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽中以用于将所述第一电极相对于第二电极对准，所述第一间隔件元件具有第一盲孔；

第一导电屏蔽件，所述第一导电屏蔽件设于所述第一盲孔中以用于使电场线弯曲远离所述第一电极的所述第一凹槽；以及

接触组件，所述接触组件从所述第一电极突出到所述第一盲孔中以用于提供在所述第一电极与所述第一导电屏蔽件之间的电接触。

2.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一导电屏蔽件覆盖所述第一盲孔的内壁表面的90％或更多。

3.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一导电屏蔽件覆盖所述第一盲孔的整个内壁表面。

4.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一导电屏蔽件为涂覆在所述第一盲孔的内壁表面上的导电层。

5.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一盲孔包括延伸到所述第一间隔件元件中并具有对应于所述第一间隔件元件的直径的30％或更多的长度的圆柱形通道。

6.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一盲孔包括延伸到所述第一间隔件元件中并具有对应于所述第一间隔件元件的直径的40％或更多的长度的圆柱形通道。

7.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一盲孔包括延伸到所述第一间隔件元件中并具有对应于所述第一间隔件元件的直径的50％或更多的长度的圆柱形通道。

8.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述接触组件包括第一接触元件和弹簧元件，所述弹簧元件将所述第一接触元件推入到所述第一盲孔中以与所述第一导电屏蔽件电接触。

9.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述接触组件将所述第一间隔件元件连接到所述第一电极，同时维持所述第一间隔件元件在所述电极布置的轴向方向(A)、所述第一电极的径向方向和所述第一电极的周向方向中的至少一者上相对于所述第一电极的可移动性。

10.根据权利要求1所述的电极布置，进一步包括：

第二间隔件元件，所述第二间隔件元件定位在设于所述第一电极中的与所述第一电极侧相对的第二电极侧上的第二凹槽中以用于将所述第一电极相对于第三电极对准，所述第二间隔件元件具有第二盲孔；以及

第二导电屏蔽件，所述第二导电屏蔽件设于所述第二盲孔中，

其中所述接触组件从所述第一电极延伸到所述第二盲孔中以用于提供在所述第一电极与所述第二导电屏蔽件之间的电接触。

11.根据权利要求10所述的电极布置，其中所述第一凹槽和所述第二凹槽由延伸穿过所述第一电极的穿孔连接，所述接触组件电接触所述穿孔的内壁并且穿过所述穿孔延伸到所述第一盲孔和所述第二盲孔两者中。

12.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述接触组件包括用于接触所述第一导电屏蔽件的第一接触元件和用于接触设于布置在第二电极侧上的第二间隔件元件的第二盲孔中的第二导电屏蔽件的第二接触元件。

13.根据权利要求12所述的电极布置，其中所述接触组件进一步包括弹簧元件，所述弹簧元件在所述电极布置的轴向方向(A)上推动所述第一接触元件和所述第二接触元件彼此分开。

14.根据权利要求13所述的电极布置，其中所述弹簧元件电接触所述第一电极并且作用在所述第一接触元件的轴向端部或肩部与所述第二接触元件的轴向端部或肩部之间。