[发明专利]电极布置、用于电极布置的接触组件、带电粒子束装置和减小电极布置中的电场强度的方法

说明书

描述了一种用于作用在带电粒子束设备中的带电粒子束上的电极布置。所述电极布置包括：第一电极(110)，所述第一电极具有用于带电粒子束的第一开口(111)；第一间隔件元件(140)，所述第一间隔件元件定位在设于第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽(112)中以用于将第一电极(110)相对于第二电极(120)对准，第一间隔件元件具有第一盲孔(141)；第一导电屏蔽件(150)，所述第一导电屏蔽件设于第一盲孔(141)中；以及接触组件(160)，所述接触组件从第一电极突出到第一盲孔(141)中以用于确保在第一电极(110)与第一导电屏蔽件(150)之间的电接触。另外，描述了一种用于这样的电极布置的接触组件(160)、一种具有这样的电极布置的带电粒子束装置以及一种减小电极布置中的电场强度的方法。

技术领域

本文描述的实施例涉及用于影响带电粒子束装置中的带电粒子束(诸如电子束)的电极布置。带电粒子束装置可以是用于用一个或多个带电粒子束对样本进行成像和/或检查的设备，例如电子显微镜。本文描述的实施例特别地涉及用于作用在带电粒子束上的电极布置、用于电极布置的接触组件以及具有电极布置的带电粒子束装置。实施例进一步涉及减小在带电粒子束装置的电极布置中的电场强度的方法。

背景技术

带电粒子束装置在多个工业领域中具有许多功能，包括但不限于在制造期间半导体器件的临界尺寸设定、半导体器件的缺陷查验、半导体器件的检查、用于光刻的曝光系统、检测装置以及测试系统。因此，对在微米尺度和纳米尺度上将样本或样品结构化、对样本或样品进行测试和检查有高需求。

带电粒子束装置(如电子显微镜或聚焦离子束(FIB)装置)的改进通常取决于特定束光学部件的改进。束光学部件是例如静电或磁性透镜、偏转器、静电或磁性镜、检测器和光谱仪。

带电粒子束装置中的束光学部件有益地相对于彼此准确地对准，以便允许带电粒子束沿具有明确限定的聚焦、偏转和/或色散特性的预定光束路径传播。例如，对于包括具有用于带电粒子束的开口的两个或更多个电极的静电透镜，所述两个或更多个电极有益地在微米尺度上相对于彼此对准，使得通过开口传播的带电粒子束以预定方式被静电透镜精确地影响。两个相邻电极可通过间隔件元件(诸如陶瓷球)相对于彼此对准，间隔件元件布置在两个相邻电极之间并且确保在两个相邻电极之间的预定距离和相对定位。

在操作期间，电极中的一个电极可相对于另一个电极设定在高电压电位上。将两个电极以与布置在其间的间隔件元件相距紧密距离布置可能会局部地增大在两个电极之间的电场强度，这增加了电弧放电的风险。电弧放电可能会损坏束光学部件并且可能会引起检查错误和其他缺陷。

鉴于以上内容，提供用于作用在带电粒子束上的电极布置将是有益的，该电极布置克服了上述问题中的至少一些。具体地，提供具有良好地对准的电极并同时减少因在电极之间的高电位差而造成的电弧放电的风险的电极布置将是有益的。另外，提供具有这种电极布置的带电粒子束装置和减小在电极布置中的电场强度的方法将是有益的。

发明内容

鉴于以上内容，提供了根据独立权利要求的电极布置、用于电极布置的接触组件、具有电极布置的带电粒子束装置以及减小在电极布置中的电场强度的方法。另外的方面、优点和特征从从属权利要求、说明书和附图中将显而易见。

根据一个方面，提供了一种用于作用在带电粒子束上的电极布置。所述电极布置包括：第一电极，所述第一电极具有用于所述带电粒子束的第一开口；第一间隔件元件，所述第一间隔件元件定位在设于所述第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽中以用于将所述第一电极相对于第二电极对准，所述第一间隔件元件具有第一盲孔；第一导电屏蔽件，所述第一导电屏蔽件设于所述第一盲孔中；以及接触组件，所述接触组件从所述第一电极突出到所述第一盲孔中以用于提供在所述第一电极与所述第一导电屏蔽件之间的电接触。