[发明专利]一种布线板间通孔的制造方法在审
| 申请号： | 202111024737.3 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113747669A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 周雨薇 | 申请（专利权）人： | 大同共聚（西安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710068 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 布线 板间通孔 制造 方法 | ||
1.一种布线板间通孔的制造方法，其特征在于：该布线板间通孔的制造方法步骤如下：
(1)将10～40μm铜箔粘贴在20～100μm聚酰亚胺薄膜得到铜箔/聚酰亚胺两层膜，然后将铜箔/聚酰亚胺两层膜置于电路基板上方，放入热压机中，从室温以3～10℃/min的升温速率升温至240℃，并在该温度下于0.5～2MPa压力下保温0.5～2h，然后在水冷系统中冷却至室温，其中电路基板中电路的厚度为10～40μm，基板厚度20～60μm；
(2)用1～10wt％的氯化铁水溶液在室温和0.5～2Kgf/cm2的喷淋压力下对步骤(1)得到的产品上的铜箔进行蚀刻1～5min，在铜箔上形成开口，其中开口直径为5～200μm；
(3)以上述刻蚀后的铜箔图案作为掩模，利用二氧化碳激光束对聚酰亚胺薄膜进行加工形成盲孔，其中二氧化碳激光束为脉冲激光，激光脉冲宽度为5μs，输出能量为20W，每1脉冲激光能量为48.8mJ，能量密度为95J/cm2，每照射5个脉冲后，向体系吹扫20L/min的空气5～30s以带走加工后的废弃物，每1个孔照射10～500个脉冲；
(4)将上述步骤(3)得到的产品放入装有商业化软刻蚀液的不锈钢槽中，将不锈钢槽置于振荡频率为26kHz，输出功率为600W的超声浴中2～10min，清除孔孔壁与孔底残留的聚酰亚胺树脂；
(5)通过一般的化学镀铜方法上述步骤(4)得到的孔中镀2～10μm的镀铜，以形成所需通孔。
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