[发明专利]内置释放孔结构的谐振器

权利要求书

1.一种内置释放孔结构的谐振器，其特征在于：包括压电层和分布在压电层表面的底电极、顶电极；在压电层、底电极和顶电极中同时存在释放孔结构，所述释放孔结构位于底电极和顶电极的边缘或中心区域；

所述压电层的材料为氮化铝、氧化锌、铌酸锂、钽酸锂、PZT、铌酸钡钠中的一种或多种组合。

2.根据权利要求1所述内置释放孔结构的谐振器，其特征在于：所述底电极和顶电极的材料为钼、铂、金、银、铝、钨、钛、钌、铜和铬中的一种或多种组合。

3.根据权利要求1或2所述内置释放孔结构的谐振器，其特征在于：所述所述底电极和顶电极的形状为圆形、椭圆形、任意多边形、弧形、环形或螺旋形中的任一种。

4.根据权利要求1或2所述内置释放孔结构的谐振器，其特征在于：所述释放孔结构包含若干形状相同或不相同的释放孔；所述释放孔的形状为圆形、椭圆形、任意多边形、弧形、环形或螺旋形中的任一种或多种的组合。

5.根据权利要求3所述内置释放孔结构的谐振器，其特征在于：所述释放孔结构包含若干形状相同或不相同的释放孔；所述释放孔的形状为圆形、椭圆形、任意多边形、弧形、环形或螺旋形中的任一种或多种的组合。