[发明专利]一种双机器人协作取放硅片装置及方法

权利要求书

1.双机器人协作取放硅片装置，其特征包括平行设置的第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)，第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)整体一端一侧设舟接驳传动机构(1)，舟接驳传动机构(1)一侧工艺主机进舟位(7)处连接工艺主机，舟接驳传动机构(1)上平行设有第一吊具取/放舟位(12)和第二吊具取/放舟位(13)，沿第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)整体一端上方和舟接驳传动机构(1)上方设有吊具横移机构(2)，吊具横移机构(2)对应的第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)上分别设第一吊具放/取舟位(14)和第二吊具放/取舟位(15)，第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)整体另一端一侧相邻设有取片机器人(5)和放片机器人(6)，第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)整体另一端另一侧相邻设有第一未工艺接片盒(8)和第二未工艺接片盒(9)以及第一已工艺接片盒(10)和第二已工艺接片盒(11)。

2.如权利要求1所述的双机器人协作取放硅片装置，其特征是所述的舟接驳传动机构(1)包括接驳输送传动装置和安装在接驳输送传动装置上的接驳横移装置，接驳输送传动装置与工艺主机对接；

所述的吊具横移机构(2)包括横移机构和安装在横移机构上的升降机构；

所述第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)都包括平移传动装置和沿平移装置运行的石墨舟夹紧固定装置；

所述的取片机器人(5)和放片机器人(6)分别都装有安装在机器人上的取/放片装置，取/放片装置包括真空发生器和与真空发生器连接的吸盘组件；

所述的第一已工艺接片盒(10)和第二已工艺接片盒(11)都包括第一升降装置和安装在第一升降装置上的第一接片盒装置；

所述的第一未工艺接片盒(8)和第二未工艺接片盒(9)都包括第二升降装置和安装在升降装置上的第二接片盒装置。

3.如权利要求1或2所述的双机器人协作取放硅片装置的取放硅片方法，其特征是包括以下步骤：

1)已工艺的石墨舟从工艺主机流出，完全进入舟接驳传动机构(1)，舟接驳传动机构(1)带动石墨舟横移至第一吊具取/放舟位(12)和第二吊具取/放舟位(13)；

2)吊具横移机构2在第一吊具取/放舟位(12)和第二吊具取/放舟位(13)夹取石墨舟，横移至第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)的第一吊具放/取舟位(14)和第二吊具放/取舟位(15)并放下石墨舟；

3)第一舟平移机构(3)和第二舟平移机构(4)带动石墨舟往机器人工作位平移，取片机器人(5)工作，取片机器人(5)先取1号石墨舟1、2槽内的硅片，分别放入第一已工艺接片盒(10)和第二已工艺接片盒(11)中；

4)第一舟平移机构(3)移动2槽距离，放片机器人(6)工作，从第一未工艺接片盒(8)和第二未工艺接片盒(9)中分别取出硅片放入1号石墨舟的1、2槽内，同时取片机器人(5)取1号石墨舟3、4槽内硅片分别放入第一已工艺接片盒(10)和第二已工艺接片盒(11)中，循环此动作；

5)待1号石墨舟内的硅片取完，取片机器人(5)直接取2号舟的1、2槽内硅片，无需等待，放片机器人(6)放满1号舟后，直接放片至(2)号舟的1、2槽，2号舟由第二舟平移机构(4)带动移动；

6)放片完成的石墨舟经过第一舟平移机构(3)或第二舟平移机构(4)平移至第一吊具放/取舟位(14)或第二吊具放/取舟位(15)；

7)吊具横移机构(2)取舟后横移至第一吊具取/放舟位(12)或第二吊具取/放舟位(13)并下降放舟；

8)舟接驳传动机构(1)横移至工艺主机进舟位(7)，完成向工艺主机输送进舟。