[发明专利]一种双机器人协作取放硅片装置及方法在审
申请号: | 202111031748.4 | 申请日: | 2021-09-03 |
公开(公告)号: | CN113782483A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 林佳继;杨军 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/683 |
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地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双机 协作 硅片 装置 方法 | ||
本发明是双机器人协作取放硅片装置及方法,其结构包括平行的两舟平移机构,两舟平移机构一侧设舟接驳传动机构,舟接驳传动机构一侧连接工艺主机,舟接驳传动机构上平行设有两吊具取/放舟位,沿两平移机构一端和舟接驳传动机构上方设有吊具横移机构,两舟平移机构上分别设两吊具放/取舟位,两舟平移机构整体另一端一侧设取片、放片机器人,两舟平移机构另一端另一侧设两未工艺接片盒以及两已工艺接片盒。本发明的优点:采用走舟模式可缩短机器人取放片轨迹行程,提高设备产能及稳定性;与现有技术单机器人石墨舟插片机相比,采用双机器人协作取放片,可提高设备产能;与现有技术二合一石墨舟插片机相比,结构简洁,可降低设备成本。
技术领域
本发明涉及的是一种双机器人协作取放硅片装置及方法,属于光伏技术领域。
背景技术
在现有技术光伏生产行业中,一般通过单个机器人对石墨舟进行硅片的取放操作,机械手依序将石墨舟中已工艺的硅片取出,放入已工艺转接片盒中;然后将未工艺转接片盒中的工艺前硅片取出,放入石墨舟中。这种操作下,由于机器人本身动作轨迹的长度,限制了一个取放片循环节拍的时间,也就成为了产能瓶颈。
现有技术中也有双机器人方案:采用两台单机器人设备背靠背安装。该方案可以极大的提升设备产能,但是投入成本过高,一定程度上会影响设备的竞争力。
发明内容
本发明提出的是一种双机器人协作取放硅片装置及方法,其目的旨在克服现有技术存在的上述不足,相比现有技术单机器人设备可大幅提高产能,相比现有技术双机器人设备可在保持产能差别不大的前提下大幅降低设备成本。
本发明的技术解决方案:双机器人协作取放硅片装置,其结构包括平行设置的第一舟平移机构和第二舟平移机构,第一舟平移机构和第二舟平移机构整体一端一侧设舟接驳传动机构,舟接驳传动机构一侧工艺主机进舟位处连接工艺主机,舟接驳传动机构上平行设有第一吊具取/放舟位和第二吊具取/放舟位,沿第一舟平移机构和第二舟平移机构整体一端上方和舟接驳传动机构上方设有吊具横移机构,吊具横移机构对应的第一舟平移机构和第二舟平移机构上分别设第一吊具放/取舟位和第二吊具放/取舟位,第一舟平移机构和第二舟平移机构整体另一端一侧相邻设有取片机器人和放片机器人,第一舟平移机构和第二舟平移机构整体另一端另一侧相邻设有第一未工艺接片盒和第二未工艺接片盒以及第一已工艺接片盒和第二已工艺接片盒。
优选的,所述的舟接驳传动机构包括接驳输送传动装置和安装在接驳输送传动装置上的接驳横移装置,接驳输送传动装置与工艺主机对接;
所述的吊具横移机构包括横移机构和安装在横移机构上的升降机构;
所述第一舟平移机构和第二舟平移机构都包括平移传动装置和沿平移装置运行的石墨舟夹紧固定装置;
所述的取片机器人和放片机器人分别都装有安装在机器人上的取/放片装置,取/放片装置包括真空发生器和与真空发生器连接的吸盘组件;
所述的第一已工艺接片盒和第二已工艺接片盒都包括第一升降装置和安装在第一升降装置上的第一接片盒装置;
所述的第一未工艺接片盒和第二未工艺接片盒都包括第二升降装置和安装在升降装置上的第二接片盒装置。
所述的双机器人协作取放硅片装置的取放硅片方法,包括以下步骤:
1)已工艺的石墨舟从工艺主机流出,完全进入舟接驳传动机构,舟接驳传动机构带动石墨舟横移至第一吊具取/放舟位和第二吊具取/放舟位13;
2)吊具横移机构在第一吊具取/放舟位和第二吊具取/放舟位夹取石墨舟,横移至第一舟平移机构和第二舟平移机构的第一吊具放/取舟位和第二吊具放/取舟位并放下石墨舟;
3)第一舟平移机构和第二舟平移机构带动石墨舟往机器人工作位平移,取片机器人工作,取片机器人先取1号石墨舟1、2槽内的硅片,分别放入第一已工艺接片盒和第二已工艺接片盒中;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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