[发明专利]一种多显微镜定点拍照路径优化方法

说明书

本申请提出一种多显微镜定点拍照路径优化方法，通过扫描拍照完成部分拍摄点的拍摄；在剩余点中采用定点移动方法进行拍摄，按照显微镜和缺陷点距离最近原则进行选点，当出现显微镜干涉时采用补点的方法提前躲避；评估适应度，结束定点拍照路径优化。本方法计算局部和综合适应度，挑选综合最优结果，在实现局部优化的前提实现全局优化，主要协调安排每个缺陷点排序和对应拍照显微镜，考虑了距离和时间因素，合理安排和规划一条路径，保证较短时间内完成拍照。

技术领域

本申请属于屏幕检测技术领域，具体涉及一种多显微镜定点拍照路径优化方法。

背景技术

随着LCD屏、OLED屏制作工艺不断提高，玻璃板越做越大，产能需求也越来越大，生产争分夺秒是常态，所以对机台的检测速度提出了更高的要求；在缺陷检测环节中，往往经过扫描设备将所有缺陷识别出来并记录下位置，在规定时间内对缺陷进行复查拍照。

常规的做法是搭配一台显微镜进行复查（review），性能方面也不错，但是由于现在工艺的提升，玻璃板做的比较大，如G8.5、G10.5代玻璃板，性能再优也要花费较长时间才能复查完毕，无法达到生产要求；由于检测玻璃板尺寸比较大，为了提高复查速度，所以机台会并列或平行安装多台显微镜，构成了多显微镜机台，但是性能还没法做到得比较优，所以也面临同样的时间问题。一般采用遗传算法、混合遗传算法、模拟退火算法、蚁群算法等来优化路径，但主要是针对单机构、单路径的实现方法，目标是求得最短路径或最小聚类数目，没有考虑时间和距离结合的问题，多显微镜路径规划是一个综合性问题，需要解决实际的限制问题才能局部使用上述方法。

现有显微镜拍照路径的缺点是：

1.单、多显微镜无法满足高速度需求

由于玻璃板越做越大，缺陷数量增加了，缺陷分布更广了，单显微镜拍照需要耗大量时间在轴的运动过程中，多显微镜协调运动简单、路径规划不够优，所以复查时间较长，无法满足快速拍照的时间要求。

2.多显微镜拍摄性能有待提高

由于多显微镜拍照需要进行协调工作，限制条件也比较多，需要制定的条框也比较复杂，限制了性能的发挥。

发明内容

本申请提出一种多显微镜定点拍照路径优化方法，解决现有显微镜拍照路径的缺点。

本申请第一方面实施例提出了一种多显微镜定点拍照路径优化方法，所述方法包括：

通过扫描拍照完成部分拍摄点的拍摄；

在剩余点中采用定点移动方法进行拍摄，按照显微镜和缺陷点距离最近原则进行选点，当出现显微镜干涉时采用补点的方法提前躲避；

评估适应度，结束定点拍照路径优化。

优选地，所述按照显微镜和缺陷点距离最近原则进行选点，包括：

1）对输入点进行分区，在现有点中按照数量均衡或位置均衡或最少干涉进行分区；

2）从上面扫描拍照完毕处开始，每个显微镜对各自区域内缺陷点位置距离进行遍历比较，每个显微镜都找距离最近的缺陷点并记录该缺陷点的值，再比较计算的每个显微镜的最小距离，从中挑选最小者作为下次拍摄地点，如此类推，直至排序完毕。

优选地，所述当出现显微镜干涉时采用补点的方法提前躲避，包括：

1）根据避免碰撞规则，在每个显微镜选择各自最近距离点时，先做干涉预判，如果出现干涉，则放弃该最近距离点选取，将选择次近距离点，如此类推；

2）如果出现无法避让的情况，或者显微镜已经拍照完毕，停止等待，进行补点。

优选地，所述通过扫描拍照完成部分拍摄点的拍摄，包括：