[发明专利]玻璃基板和包括所述玻璃基板的显示设备

说明书

本公开涉及玻璃基板和包括所述玻璃基板的显示设备。公开了用于制造薄膜器件和/或用于减少薄膜器件中翘曲的方法，所述方法包括：将至少一个金属膜涂敷到玻璃基板的凸形表面上，其中，所述玻璃基板为基本上圆顶状。所公开的其他方法包括确定玻璃板的凹面的方法。所述方法包括：当所述板由平整的表面支撑并且受到重力作用时，确定所述凹面的取向以及测量所述板的边缘升高的幅值。本文还公开了根据这些方法制造的薄膜器件以及包括这种薄膜器件的显示设备。

本申请是中国申请号为201680015526.4，发明名称为“玻璃基板和包括所述玻璃基板的显示设备”的发明专利申请的分案申请。

相关申请的交叉引用

本申请根据35U.S.C.§119要求于2015年1月14日提交的美国临时申请序列号62/103411的优先权权益，所述美国临时申请的内容被用作依据并且通过引用以其全部内容结合在此。

技术领域

本公开总体上涉及用于显示设备的玻璃板或玻璃基板，并且更具体地涉及用于诸如薄膜晶体管(TFT)等薄膜器件和包括薄膜器件的高分辨率平板显示设备的玻璃板或玻璃基板。本公开总体上还涉及用于基于玻璃板的凹面确定玻璃板与参考表面的适形性以及标识凹面方向以便促进将薄膜沉积到所述板的表面上的方法。

背景技术

液晶显示器(LCD)常用于诸如手机、膝上型计算机、电子平板计算机、电视机以及计算机监视器等各种电子设备中。对更大的高分辨率平板显示器的增加的需求带动了对显示器中使用的大型高质量玻璃的需要，例如，用于制造TFT、滤色片或其他显示部件。在产品制造方面，4K2K或超高清显示器可以呈现用于平衡高分辨率与成本效益的解决方案。

4K2K用于指具有大约4,000像素的水平分辨率的显示设备(行业标准4096×21060；1.9:1纵横比)。然而，此大量的像素可能生成更大的电阻电容(RC)，所述电阻电容进而可能影响设备的充电效率。为了减少RC延迟并且增强像素充电，可能期望增大沉积于玻璃表面上的金属膜的宽度和/或厚度。例如，如图1中所展示的，4K2K设备中的金属膜的宽度W₂和/或厚度T₂可能显著大于全高清(FHD)设备中的金属膜的宽度w₂和/或厚度t₂。如图2中所示出的，沉积较厚的金属层可能由于膜应力而导致翘曲，这可能使薄膜器件呈非平面或碗状形状而不是扁平形状。

进一步地，对用于诸如显示器或照明面板等电子设备的玻璃板的处理可能需要使板适形于平面支撑以便形成设备的某些部件。通常，经由光刻工艺形成诸如有机发光二极管材料和其他薄膜等这些部件，所述光刻工艺包括将板真空夹持(chuck)到平面表面以便使板变平。玻璃板适形于平面支撑的能力取决于板的固有(例如，无重力的)形状(例如，板在不存在重力的情况下将具有的形状)。已知为可展开形状的某些形状可以相对容易地适形于平面，对适形的抵抗在很大程度上是板刚度的结果。另一方面，使不可展开形状变平不那么容易。从而，某些形状可能在光刻工艺中引入困难。更重要地，形状相对于平面支撑的取向可能影响板适形的能力。

相应地，将有利的是，为如LCD等大型平板显示设备提供解决以上缺点中的一个或多个缺点的薄膜器件(例如，TFT)，例如，具有更低成本和/或更高分辨率的更平整TFT。在各实施例中，包括这种TFT的LCD设备可以提供改善的画面质量、改善的充电和/或能量效率和/或改善的成本效率。

发明内容

在各实施例中，本公开涉及用于制造薄膜晶体管和/或用于减少薄膜晶体管中翘曲的方法。对玻璃基板或玻璃板上诸如薄膜晶体管等薄膜器件的制造需要具有高平整度的表面。这是因为用于生产设备的选择方法包括光刻，并且用于这种光学工艺的景深通常很浅。

在生产玻璃板时，玻璃板可能获得翘曲，其中，玻璃板展现出某个程度的凹面(即，弯曲)，从而使得玻璃板将不会完全平放于支撑参考表面上，即使被真空夹持到表面上。以其最简单的形式，这个凹面可能相对于参考表面表现为圆顶状，或者相对于参考表面表现为碗状。